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1. (WO2010073245) SYSTEM AND METHODS FOR PARAMETRIC TESTING
Latest bibliographic data on file with the International Bureau

Pub. No.: WO/2010/073245 International Application No.: PCT/IL2009/001208
Publication Date: 01.07.2010 International Filing Date: 22.12.2009
IPC:
G01R 31/26 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
R
MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
31
Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
26
Testing of individual semiconductor devices
Applicants:
OPTIMALTEST LTD. [IL/IL]; 18 Einstein Street 74140 Nes-Zionna, IL (AllExceptUS)
GUROV, Leonid [IL/IL]; IL (UsOnly)
CHUFAROVSKY, Alexander [IL/IL]; IL (UsOnly)
BALOG, Gil [IL/IL]; IL (UsOnly)
LINDE, Reed [US/US]; US (UsOnly)
Inventors:
GUROV, Leonid; IL
CHUFAROVSKY, Alexander; IL
BALOG, Gil; IL
LINDE, Reed; US
Agent:
REINHOLD COHN AND PARTNERS; P.O.B.13239 61131 Tel Aviv, IL
Priority Data:
12/341,43122.12.2008US
Title (EN) SYSTEM AND METHODS FOR PARAMETRIC TESTING
(FR) SYSTEME ET PROCEDES DE TESTS PARAMETRIQUES
Abstract:
(EN) Method and system for determining whether to perform an action relating to parametric testing of semiconductor devices is disclosed. The method comprises attaining results generated from a parametric test performed on semiconductor devices included in a control set and selecting from among the semiconductor devices an extreme subset including a high-scoring subset including all devices whose results exceed a high cut-off point and a low-scoring subset including all devices whose results fall below a low cut-off point. Subsequently, the method comprises plotting the results of the extreme subset as a normal probability plot and fitting a plurality of curves to subsets of the results of the extreme subset and extending each of the curves to the zero probability axis for the low-scoring subset or to the one probability axis for the high scoring subset to define a corresponding plurality of intersection points along the axis.
(FR) L'invention concerne un procédé et un système permettant de déterminer s'il faut réaliser une action de test paramétrique de dispositifs semi-conducteurs. Ce procédé consiste à obtenir les résultats générés par un test paramétrique réalisé sur des dispositifs semi-conducteurs contenus dans un ensemble témoin; et à sélectionner, parmi ces dispositifs semi-conducteurs, un sous-ensemble d'extrêmes comprenant un sous-ensemble à notation élevée contenant tous les dispositifs dont les résultats sont supérieurs à un point de coupure élevé et un sous-ensemble à notation basse contenant tous les dispositifs dont les résultats sont inférieurs à un point de coupure bas. Le procédé selon l'invention consiste ensuite à tracer les résultats du sous-ensemble d'extrêmes sous la forme d'un graphique à échelle fonctionnelle normale et à ajuster une pluralité de courbes sur les sous-ensembles de résultats du sous-ensemble d'extrêmes; et à étendre chaque courbe sur l'axe de probabilité nulle pour le sous-ensemble à notation basse ou sur un axe de probabilité pour le sous-ensemble à notation élevée, de sorte à définir une pluralité correspondante de points d'intersection le long de l'axe.
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)