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1. (WO2010032884) MOVABLE BODY APPARATUS AND MOVABLE BODY DRIVE METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/032884    International Application No.:    PCT/JP2009/067113
Publication Date: 25.03.2010 International Filing Date: 18.09.2009
IPC:
G03F 7/20 (2006.01)
Applicants: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 12-1, Yurakucho 1-Chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (For All Designated States Except US).
SHIBAZAKI, Yuichi [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: SHIBAZAKI, Yuichi; (JP)
Agent: TATEISHI, Atsuji; TATEISHI & CO., Karakida Center Bldg., 1-53-9, Karakida, Tama-shi, Tokyo 2060035 (JP)
Priority Data:
61/098,900 22.09.2008 US
2009-122429 20.05.2009 JP
12/561,510 17.09.2009 US
Title (EN) MOVABLE BODY APPARATUS AND MOVABLE BODY DRIVE METHOD
(FR) APPAREIL POUR CORPS MOBILE, PROCÉDÉ D'ENTRAÎNEMENT DE CORPS MOBILE, APPAREIL D'EXPOSITION, PROCÉDÉ D'EXPOSITION ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIFS
Abstract: front page image
(EN)A drive system drives a movable body (WFS), based on measurement results of a first measurement system which measures the position of the movable body in an XY plane by irradiating a measurement beam from an arm member (71) on a grating (RG) placed on a surface parallel to the XY plane of the movable body and measurement results of a second measurement system which measures a variance of the arm member (71) using a laser interferometer. In this case, the drive system corrects measurement errors caused due to a variance of the arm member included in the measurement results of the first measurement system, using the measurement results of the second measurement system.
(FR)L'invention concerne un système d'entraînement qui transporte un corps mobile (WFS) sur la base de résultats de mesure provenant d'un premier système de mesure qui estime la position du corps mobile dans un plan XY en faisant rayonner un faisceau de mesure provenant d'un élément (71) en forme de bras sur un réseau (RG) placé sur une surface parallèle au plan XY du corps mobile, et sur la base de résultats de mesure provenant d'un second système de mesure qui estime un écart de l'élément (71) en forme de bras en utilisant un interféromètre laser. Dans ce cas, le système d'entraînement corrige les erreurs de mesure provoquées par un écart de l'élément en forme de bras, lesquelles sont incluses dans les résultats de mesure du premier système de mesure, en utilisant les résultats de mesure du second système de mesure.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)