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Pub. No.:    WO/2010/032852    International Application No.:    PCT/JP2009/066452
Publication Date: 25.03.2010 International Filing Date: 18.09.2009
H01L 21/304 (2006.01), B01J 19/12 (2006.01)
Applicants: GS Yuasa International Ltd. [JP/JP]; 1, Inobabacho, Kisshoin-nishinosho, Minami-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6018520 (JP) (For All Designated States Except US).
HIROI Kazunori; (For US Only).
HATASE Kazuya; (For US Only)
Inventors: HIROI Kazunori; .
HATASE Kazuya;
Agent: NAITO Teruo; Shin-Ei Patent Firm, 7-13, Nishi-Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1050003 (JP)
Priority Data:
2008-240090 18.09.2008 JP
(JA) 紫外線照射装置
Abstract: front page image
(EN)Ultraviolet light is enabled to be irradiated to an object to be treated with high efficiency while reducing a management burden on an ultraviolet light irradiation device as much as possible. The ultraviolet light irradiation device in which discharge lamps for irradiating ultraviolet light to the object to be treated, and a gas supplying means for supplying gas to the space between the discharge lamps and the object to be treated are provided, wherein the gas supplying means comprises blow-off ports for the gas arranged on the lateral sides of the discharge lamps, and a shield covering the space around the discharge lamps on the opposite side of the side on which the object to be treated exists.
(FR)La présente invention concerne la possibilité d’irradier, avec une grande efficacité, une lumière ultraviolette sur un objet devant être traité tout en réduisant autant que possible une charge de gestion sur un dispositif d'irradiation de lumière ultraviolette. Le dispositif d'irradiation de lumière ultraviolette comprend des lampes à décharge adaptées pour irradier une lumière ultraviolette sur l'objet devant être traité et des moyens de fourniture de gaz adaptés pour fournir du gaz dans l'espace situé entre les lampes à décharge et l'objet devant être traité. Selon l'invention, les moyens de fourniture de gaz comprennent des orifices d'injection de gaz qui sont disposés sur les côtés latéraux des lampes à décharge, ainsi qu'un blindage qui recouvre l'espace situé autour des lampes à décharge sur le côté opposé du côté où l'objet devant être traité est situé.
(JA) 紫外線照射装置の管理負担を可及的に低減しながら、効率良く処理対象物へ紫外線を照射できるようにする。 処理対象物に向けて紫外線を照射する放電ランプと、その放電ランプと前記処理対象物との間の空間にガスを供給するガス供給手段とが設けられた紫外線照射装置において、前記ガス供給手段は、前記放電ランプの側方に配置された前記ガスの吹き出し口と、前記処理対象物の存在側の反対側において前記放電ランプの周囲空間を覆う遮蔽体とを備えて構成されている。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)