Processing

Please wait...

Settings

Settings

Goto Application

1. WO2010032755 - METHOD FOR MANUFACTURING MAGNETIC RECORDING MEDIUM

Publication Number WO/2010/032755
Publication Date 25.03.2010
International Application No. PCT/JP2009/066173
International Filing Date 16.09.2009
IPC
G11B 5/84 2006.1
GPHYSICS
11INFORMATION STORAGE
BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
5Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
84Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
CPC
G11B 5/855
GPHYSICS
11INFORMATION STORAGE
BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
5Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
84Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
855Coating only part of a support with a magnetic layer
Applicants
  • 株式会社アルバック ULVAC, INC. [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 西橋 勉 NISHIHASHI, Tsutomu [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 渡辺 一弘 WATANABE, Kazuhiro [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 森田 正 MORITA, Tadashi [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 佐藤 賢治 SATO, Kenji [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 田中 努 TANAKA, Tsutomu [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 渦巻 拓也 UZUMAKI, Takuya [JP]/[JP] (UsOnly)
Inventors
  • 西橋 勉 NISHIHASHI, Tsutomu
  • 渡辺 一弘 WATANABE, Kazuhiro
  • 森田 正 MORITA, Tadashi
  • 佐藤 賢治 SATO, Kenji
  • 田中 努 TANAKA, Tsutomu
  • 渦巻 拓也 UZUMAKI, Takuya
Agents
  • 石島 茂男 ISHIJIMA, Shigeo
Priority Data
2008-24135819.09.2008JP
Publication Language Japanese (ja)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) METHOD FOR MANUFACTURING MAGNETIC RECORDING MEDIUM
(FR) PROCÉDÉ DE FABRICATION DE SUPPORT D'ENREGISTREMENT MAGNÉTIQUE
(JA) 磁気記録媒体の製造方法
Abstract
(EN) A highly reliable magnetic recording medium is manufactured.  After forming a first resist layer (47), a second resist layer (48) is grown on a side wall of a recessed section (57) of the first resist layer (47).  A recessed section (58) of a resist (49) composed of the first and the second resist layers (47, 48) is made narrower than the recessed section (57) of the first resist layer (47).  The resist (49) has a small thickness at the recessed section (58), and when processing gas ions enter the resist, the constituent atoms thereof pass through the portion where the recessed section (58) is positioned and enter a magnetic film (44), and the magnetic film (44) is made non-magnetic.  Since the recessed section (58) is made narrow, the portion where the magnetic film (44) is made non-magnetic is narrow.  Namely, since a portion (storage region (51)) which is not made non-magnetic and has remaining magnetism is made wide, reproduction output obtained from a magnetic head is increased and reliability of a magnetic recording medium (50) is improved.
(FR) La présente invention concerne la fabrication d'un support d'enregistrement magnétique de haute fiabilité. Après formation d'une première couche de réserve (47), on fait croître une seconde couche de réserve (48) sur une paroi latérale d'une zone en creux (57) de la première couche de réserve (47). Une zone en creux (58) d'une réserve (49) constituée de la première couche de réserve (47) et de la seconde couche de réserve (48) est traitée pour être plus étroite que la zone en creux (57) de la première couche de réserve (47). La réserve (49) présente une petite épaisseur au niveau de la zone en creux (58), et quand les ions du gaz de traitement pénètrent dans la réserve, les atomes constitutifs de ces ions traversent la partie où se trouve la zone en creux (58) et pénètrent dans un film magnétique (44), et le film magnétique est traité pour être non magnétique. Étant donné que la zone en creux (58) est traitée pour être étroite, la partie où le film magnétique (44) est traité pour être non magnétique est étroite. En l'occurrence, étant donné qu'une partie (zone mémoire (51)) qui n'est pas traitée pour être non magnétique et qui comporte un magnétisme rémanent est traitée pour être large, la sortie en reproduction obtenue à partir de la tête magnétique est augmentée et la fiabilité d'un support d'enregistrement magnétique (50) est améliorée.
(JA)  信頼性の高い磁気記録媒体を製造する。第一のレジスト層47を形成した後、第一のレジスト層47の凹部57側壁に第二のレジスト層48を成長させる。第一、第二のレジスト層47、48からなるレジスト49の凹部58は、第一のレジスト層47の凹部57よりも狭くなる。レジスト49は凹部58で膜厚が薄く、処理ガスイオンが入射すると、その構成原子は凹部58が位置する部分を透過して、磁性膜44に入射し、磁性膜44が非磁性化される。凹部58は狭くなっているから、磁性膜44が非磁性化される部分が狭い。即ち、非磁性化されず、磁性が残る部分(記憶領域51)が広くなるから、磁気ヘッドによる再生出力が上がり、磁気記録媒体50の信頼性が向上する。
Latest bibliographic data on file with the International Bureau