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Pub. No.:    WO/2010/032754    International Application No.:    PCT/JP2009/066172
Publication Date: 25.03.2010 International Filing Date: 16.09.2009
G11B 5/84 (2006.01)
Applicants: ULVAC, INC. [JP/JP]; 2500, Hagisono, Chigasaki-shi, Kanagawa 2538543 (JP) (For All Designated States Except US).
NISHIHASHI, Tsutomu [JP/JP]; (JP) (For US Only).
WATANABE, Kazuhiro [JP/JP]; (JP) (For US Only).
MORITA, Tadashi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
SATO, Kenji [JP/JP]; (JP) (For US Only).
TANAKA, Tsutomu [JP/JP]; (JP) (For US Only).
UZUMAKI, Takuya [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: NISHIHASHI, Tsutomu; (JP).
WATANABE, Kazuhiro; (JP).
MORITA, Tadashi; (JP).
SATO, Kenji; (JP).
TANAKA, Tsutomu; (JP).
UZUMAKI, Takuya; (JP)
Agent: ISHIJIMA, Shigeo; (JP)
Priority Data:
2008-241357 19.09.2008 JP
(JA) 磁気記録媒体の製造方法
Abstract: front page image
(EN)Provided is an ion-irradiation method that can prevent sudden elevations of temperature inside processed objects. By alternating irradiation periods (T1) with non-irradiation periods (T2), even if the temperature of a processed object (30) increases during the irradiation period (T1), the heat is released by heat conduction to surrounding components via the surrounding atmosphere and pins during the non-irradiation period (T2). Even if one side increases in temperature due to ion irradiation during an irradiation period on one side, the temperature increase is mitigated by heat release from the other side during the non-irradiation period (T2), and sudden elevations of temperature inside the processed object (30) are prevented.
(FR)La présente invention concerne un procédé d'irradiation ionique permettant d'éviter les élévations soudaines de température à l'intérieur d'objets traités. En faisant alterner les périodes d'irradiation (T1) avec les périodes de non irradiation (T2), même si la température d'un objet traité (30) augmente pendant la période d'irradiation (T1), la chaleur est évacuée par thermoconduction en direction des composants voisins par l'intermédiaire de l'atmosphère environnante et des broches pendant la période de non irradiation (T2). Même si une face subit une augmentation de température provoquée par l'irradiation ionique pendant une période d'irradiation d'une face, l'augmentation de température est atténuée par l'évacuation de la chaleur depuis l'autre face pendant la période de non irradiation (T2), ce qui empêche la survenue d'élévations soudaines de la température à l'intérieur de l'objet traité (30).
(JA) 処理対象物内部の急激な昇温を防ぐことのできるイオン照射方法を提供する。照射期間T1と非照射期間T2とが繰り返されることで、処理対象物30は、照射期間T1に温度上昇しても、非照射期間T2には、周囲雰囲気やピンを介した周辺部材への熱伝導によって、放熱する。  また、片面照射期間の間は、片面がイオンの照射により昇温しても、非照射期間T2中の他面から放熱が行われることで昇温が緩和され、処理対象物30内の急激な温度の上昇が防止されている。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)