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Pub. No.:    WO/2010/032745    International Application No.:    PCT/JP2009/066141
Publication Date: 25.03.2010 International Filing Date: 16.09.2009
H05H 1/46 (2006.01), C23C 16/511 (2006.01), H01L 21/205 (2006.01), H01L 21/3065 (2006.01)
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325 (JP) (For All Designated States Except US).
NISHIMOTO Shinya [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: NISHIMOTO Shinya; (JP)
Agent: KIMURA Mitsuru; (JP)
Priority Data:
2008-243125 22.09.2008 JP
(JA) 温度調節機構およびプラズマ処理装置
Abstract: front page image
(EN)Provided is a temperature adjustment mechanism capable of controlling the temperature of a dielectric window (8a) to be used for a plasma treatment to realize an excellent plasma treatment and controlling the temperature of the entirety of a plasma treatment apparatus (1) efficiently to ensure the safety of operations. Also provided is the plasma treatment apparatus (1) equipped with the temperature adjustment mechanism. The temperature adjustment mechanism of the plasma treatment apparatus (1) comprises a treatment container (8) equipped with the dielectric window (8a) which is formed of a dielectric material and which can be internally reduced in pressure, and external devices (11 and 12) which are arranged outside of the treatment container (8) and at least a part of which is in contact with the treatment container (8) so that the heat of the treatment container (8) is conducted thereto. The plasma treatment apparatus (1) is equipped with external device cooling passages (23 and 24) for circulating a heating medium to the external devices (11 and 12), dielectric window cooling passages (21 and 22) arranged in a manner that at least a part thereof is thermally conductive with the dielectric window (8a) and circulating the heating medium to the vicinity of the dielectric window (8a), a cooling device (20) for adjusting the heating medium to a predetermined temperature, and a heating means (25) for heating the heating medium which is to flow into the dielectric window cooling passages (21 and 22) to a predetermined temperature in advance. The heating medium having flown out of the external device cooling passages (23 and 24) is adjusted, before flowing into the dielectric window cooling passages (21 and 22), to the predetermined temperature by the cooling device (20) and/or the heating means (25).
(FR)La présente invention concerne un mécanisme de réglage de température permettant de réguler la température d'une fenêtre diélectrique (8a) à utiliser pour un traitement au plasma de façon à réaliser un excellent traitement au plasma et à réguler efficacement la température de l'ensemble de l'appareil de traitement au plasma (1) de façon à en garantir la sécurité du fonctionnement. L'invention concerne également un appareil de traitement au plasma (1) équipé du mécanisme de réglage de température. Le mécanisme de réglage de température de l'appareil de traitement au plasma (1) comprend une enceinte de traitement (8) comportant une fenêtre diélectrique (8a) faite d'un matériau diélectrique et dont la pression interne peut être réduite, et des dispositifs externes (11 et 12) qui sont disposés à l'extérieur de l'enceinte de traitement (8) et dont au moins une partie est en contact avec l'enceinte de traitement (8) de façon que la chaleur de l'enceinte de traitement (8) y soit conduite. L'appareil de traitement au plasma (1) est équipé de passages de refroidissement par dispositifs externes (23 et 24) servant à faire circuler un milieu chauffant en direction des dispositifs externes (11 et 12), de passages de refroidissements de la fenêtre diélectrique (21 et 22) disposés d'une façon qu'une partie au moins en soit en conduction thermique avec la fenêtre diélectrique (8a) et fasse circuler le milieu chauffant jusqu'au voisinage de la fenêtre diélectrique (8a), d'un dispositif de refroidissement (20) servant à régler le milieu chauffant jusqu'à une température prédéterminée, et d'organes de chauffage (25) pour chauffer jusqu'à une température prédéterminée le milieu chauffant qui doit préalablement passer par les passages de refroidissement de la fenêtre diélectrique (21 et 22). Avant de pénétrer par les passages de refroidissement de la fenêtre de refroidissement (21 et 22), le milieu chauffant ressorti par les passages de refroidissement du dispositif externe (23 et 24) est amené, par régulation, à la température prédéterminée par le dispositif de refroidissement (20) et/ou par les organes de chauffage (25).
(JA) プラズマ処理に用いる誘電体窓(8a)の温度を制御して良好なプラズマ処理を実現するとともに、装置全体を効率よく温度制御し、作業の安全性を確保することができる温度調節機構および温度調節機構を備えるプラズマ処理装置(1)を提供する。  プラズマ処理装置(1)の温度調節機構は、誘電体材料で形成された誘電体窓(8a)を備え内部を減圧可能な処理容器(8)と、処理容器(8)の外部に配置され、少なくともその一部分が処理容器(8)と接触し、処理容器(8)の熱が伝導する外部装置(11,12)と、を備えるプラズマ処理装置(1)において、外部装置(11,12)に熱媒体を循環させる外部装置冷却流路(23,24)と、少なくともその一部分が誘電体窓(8a)との間で熱伝導可能なように配置され、誘電体窓(8a)の近傍に熱媒体を循環させる誘電体窓冷却流路(21,22)と、熱媒体を所定の温度に調節する冷却装置(20)と、誘電体窓冷却流路(21,22)に流入する熱媒体をあらかじめ所定の温度に加熱する加熱手段(25)と、を備える。外部装置冷却流路(23,24)から流出した熱媒体は、誘電体窓冷却流路(21,22)に流入する前に、冷却装置(20)若しくは加熱手段(25)又はその両方によって所定の温度に調節されるよう構成されている。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)