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Pub. No.:    WO/2010/032703    International Application No.:    PCT/JP2009/065992
Publication Date: 25.03.2010 International Filing Date: 14.09.2009
Chapter 2 Demand Filed:    06.07.2010    
H01L 21/683 (2006.01), H02N 13/00 (2006.01)
Applicants: CREATIVE TECHNOLOGY CORPORATION [JP/JP]; Koujimachi YK Bldg 5F, 1-8-14, Koujimachi, Chiyoda-ku, Tokyo 1020083 (JP) (For All Designated States Except US).
TATSUMI Yoshiaki [JP/JP]; (JP) (For US Only).
FUJISAWA Hiroshi [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: TATSUMI Yoshiaki; (JP).
FUJISAWA Hiroshi; (JP)
Agent: SASAKI Kazuya; 5th Floor, TKK Nishishinbashi Bldg., 11-5, Nishi-shinbashi 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1050003 (JP)
Priority Data:
2008-237995 17.09.2008 JP
(JA) 静電チャック
Abstract: front page image
(EN)Provided is a self power feeding electrostatic chuck (8) which can feed power that an attracting electrode (3) uses, while generating power during a time when substrate is being processed. An electrostatic chuck (8) holds the substrate by attraction in a substrate processing apparatus (11) which processes the substrate by generating optical energy. The electrostatic chuck has an electrode sheet (5) provided with the attracting electrode (3), a metal base (1) having the electrode sheet (5) stacked on the upper surface side, an internal power supply which obtains power to be supplied to the attracting electrode (3), and a voltage increasing circuit (7) which increases the voltage of the power obtained by the internal power supply. The internal power supply is a solar cell (6), and the electrostatic chuck (8) converts optical energy into power while the substrate is being processed, and the substrate is held by attracting the substrate to the electrode sheet (5).
(FR)L'invention concerne un mandrin électrostatique (8) à alimentation automatique pouvant fournir l'alimentation utilisée par une électrode d'attraction (3), tout en générant de la puissance pendant que le substrat est en cours de traitement. Un mandrin électrostatique (8) maintient le substrat par attraction dans un appareil de traitement de substrat (11) qui traite le substrat en générant de l'énergie optique. Le mandrin électrostatique comporte une feuille d'électrode (5) dotée de l'électrode d'attraction (3), une base de métal (1) comportant la feuille d'électrode (5) empilée sur le côté de la surface supérieure, une alimentation électrique interne qui obtient la puissance devant être fournie à l'électrode d'attraction (3), et un circuit d'augmentation de tension (7) qui augmente la tension de la puissance obtenue par l'alimentation électrique interne. Celle-ci est une pile solaire (6), et le mandrin électrostatique (8) convertit l'énergie optique en puissance pendant que le substrat est en cours de traitement. Le substrat est maintenu en attirant le substrat vers la feuille d'électrode (5).
(JA) 吸着電極(3)が使用する電力を基板の処理中に発電しながら供給することができる電力自己補給型の静電チャック(8)を提供する。 光エネルギーを発生して基板を処理する基板処理装置(11)において基板を吸着保持する静電チャック(8)であり、吸着電極(3)を備えた電極シート(5)と、上面側に電極シート(5)を積層させる金属基盤(1)と、吸着電極(3)に供給する電力を得る内部電源と、内部電源で得られた電力の電圧を昇圧する昇圧回路(7)とを有し、内部電源が太陽電池(6)であって、基板の処理中に光エネルギーを電力に変換して、電極シート(5)に基板を吸着保持させることを特徴とする静電チャック(8)である。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)