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1. (WO2010031526) OPTICAL ASSEMBLY WITH A TEMPERATURE -CONTROL DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/031526    International Application No.:    PCT/EP2009/006638
Publication Date: 25.03.2010 International Filing Date: 14.09.2009
IPC:
G02B 7/00 (2006.01), G02B 7/18 (2006.01)
Applicants: CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen (DE) (For All Designated States Except US).
SCHÖPPACH, Armin [DE/DE]; (DE) (For US Only).
LAUFER, Timo [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: SCHÖPPACH, Armin; (DE).
LAUFER, Timo; (DE)
Agent: RAU, SCHNECK & HÜBNER; att: HOFMANN, Matthias Königstrasse 2 90402 Nürnberg (DE)
Priority Data:
10 2008 042 215.0 19.09.2008 DE
61/098,259 19.09.2008 US
Title (EN) OPTICAL ASSEMBLY WITH A TEMPERATURE -CONTROL DEVICE
(FR) ENSEMBLE OPTIQUE AYANT UN DISPOSITIF DE RÉGULATION DE TEMPÉRATURE
Abstract: front page image
(EN)A temperature-control device (19) is used for controlling the temperature of an optical assembly (16) with at least one optical body (17), the temperature of which is to be controlled, with at least one optical surface (18) which can be acted upon by a heat flow. The temperature-control device (19) has a heat sink (20) to receive a heat flow (21), which is emitted by the optical body (17) or a transmission body which is in thermal connection with the optical body (17). The heat sink (20) is arranged adjacent to a peripheral region (22) of the optical surface (18). The temperature-control device (19) has a heating mechanism (28) with at least one heating body (29), which is arranged adjacent to the optical body (17). The heating body (29) is connected via a physical heat bridge (32) to the heat sink (20).
(FR)La présente invention porte sur un dispositif de régulation de température (19) qui est utilisé pour réguler la température d'un ensemble optique (16) ayant au moins un corps optique (17), dont la température doit être régulée, ayant au moins une surface optique (18) qui peut être soumise à un flux thermique. Le dispositif de régulation de température (19) comprend un dissipateur thermique (20) pour recevoir un flux thermique (21), qui est émis par le corps optique (17) ou un corps de transmission qui est en connexion thermique avec le corps optique (17). Le dissipateur thermique (20) est disposé adjacent à une région périphérique (22) de la surface optique (18). Le dispositif de régulation de température (19) comprend un mécanisme de chauffage (28) ayant au moins un corps de chauffage (29) qui est disposé adjacent au corps optique (17). Le corps de chauffage (29) est raccordé au dissipateur thermique (20) par l'intermédiaire d'un pont thermique physique.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)