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1. (WO2010030613) BOUNDARY LAYER DISRUPTIVE PRECONDITIONING IN ATMOSPHERIC-PLASMA PROCESS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/030613    International Application No.:    PCT/US2009/056272
Publication Date: 18.03.2010 International Filing Date: 08.09.2009
IPC:
H01L 21/47 (2006.01)
Applicants: SIGMA LABORATORIES OF ARIZONA, LLC [US/US]; 10960 N. Stallard Place Tucson, AZ 85737 (US) (For All Designated States Except US).
DAI, Xin [US/US]; (US).
ELLWANGER, Richard, E. [US/US]; (US).
YIALIZIS, Angello [US/US]; (US)
Inventors: DAI, Xin; (US).
ELLWANGER, Richard, E.; (US).
YIALIZIS, Angello; (US)
Agent: DURANDO, Antonio, R.; (US)
Priority Data:
12/283,114 09.09.2008 US
Title (EN) BOUNDARY LAYER DISRUPTIVE PRECONDITIONING IN ATMOSPHERIC-PLASMA PROCESS
(FR) PRÉCONDITIONNEMENT DISRUPTIF DE COUCHE BARRIÈRE DANS UN TRAITEMENT PAR PLASMA ATMOSPHÉRIQUE
Abstract: front page image
(EN)The boundary layer of a substrate (14) is exposed to a low-energy inert-gas atmospheric plasma that disrupts the layer's bonds, thereby permitting the removal of most oxygen from the surface of the substrate. The substrate (14) is then passed through an exhaust section (82) to remove the disrupted boundary layer prior to conventional plasma treatment. The subsequent plasma treatment is carried out in conventional manner in a substantially oxygen-free environment. As a result of the invention, the high surface- energy levels provided by plasma treatment are more lasting and plasma applications requiring a substantially oxygen-free environment are more efficient.
(FR)Selon l’invention, la couche barrière d’un substrat (14) est exposée à un plasma atmosphérique à gaz inerte et à faible énergie qui interrompt les liaisons de la couche, ce qui permet d’éliminer la majeure partie de l’oxygène présent de la surface du substrat. Le substrat (14) passe dans une section d’échappement (82) afin d’éliminer la couche frontière interrompue avant le traitement au plasma classique. Le traitement au plasma est ensuite effectué de manière classique dans un environnement sensiblement dépourvu d’oxygène. Grâce à la présente invention, les niveaux élevés d’énergie de surface obtenus grâce au traitement au plasma sont plus durables, et les applications de plasma nécessitant un milieu essentiellement dépourvu d’oxygène sont plus efficaces.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)