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1. (WO2010030324) IMAGE SENSOR WITH RAISED PHOTOSENSITIVE ELEMENTS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/030324    International Application No.:    PCT/US2009/004903
Publication Date: 18.03.2010 International Filing Date: 28.08.2009
IPC:
H01L 27/146 (2006.01)
Applicants: EASTMAN KODAK COMPANY [US/US]; 343 State Street Rochester, New York 14650-2201 (US) (For All Designated States Except US).
CHEN, Shenlin [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: CHEN, Shenlin; (US)
Common
Representative:
EASTMAN KODAK COMPANY; 343 State Street Rochester, New York 14650-2201 (US)
Priority Data:
12/208,403 11.09.2008 US
Title (EN) IMAGE SENSOR WITH RAISED PHOTOSENSITIVE ELEMENTS
(FR) CAPTEUR D'IMAGE À ÉLÉMENTS PHOTOSENSIBLES SURÉLEVÉS
Abstract: front page image
(EN)An image sensor having a pixel array comprises periphery elements formed over a substrate, an oxide layer formed over the periphery elements, an epitaxial layer formed in an opening in the oxide layer in a pixel array area, and a plurality of photosensitive elements of the pixel array formed in the epitaxial layer. Formation of an initial metallization layer occurs after the formation of the photosensitive elements in the epitaxial layer. The photosensitive elements can thus be formed in the epitaxial layer at a higher level within an image sensor stack than that of the initial metallization layer. This advantageously allows stack height and pixel size to be reduced, and fill factor to be increased. The image sensor may be implemented in a digital camera or other type of digital imaging device.
(FR)L'invention concerne un capteur d'image doté d'une matrice de pixels comprenant des éléments périphériques formés sur un substrat, une couche d'oxyde formée sur les éléments périphériques, une couche épitaxiale formée dans une ouverture dans la couche d'oxyde dans une zone de la matrice de pixels, et une pluralité d'éléments photosensibles de la matrice de pixels formée dans la couche épitaxiale. La formation d'une couche de métallisation initiale se produit après la formation des éléments photosensibles dans la couche épitaxiale. Les éléments photosensibles peuvent ainsi être formés dans la couche épitaxiale à un niveau, à l'intérieur d'une pile de capteurs d'image, supérieur à celui de la couche de métallisation initiale. Ceci permet de réduire avantageusement la hauteur de la pile et la dimension des pixels, et d'augmenter le facteur de remplissage. Le capteur d'image peut être installé dans une caméra numérique ou tout autre type de dispositif de formation d'image numérique.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)