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1. (WO2010029867) ETCHANT FOR TITANIUM-BASED METAL, TUNGSTEN-BASED METAL, TITANIUM-TUNGSTEN-BASED METAL OR NITRIDES THEREOF
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/029867    International Application No.:    PCT/JP2009/065136
Publication Date: 18.03.2010 International Filing Date: 25.08.2009
IPC:
C23F 1/38 (2006.01)
Applicants: SHOWA DENKO K.K. [JP/JP]; 13-9, Shibadaimon 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058518 (JP) (For All Designated States Except US).
SATO, Hironosuke [JP/JP]; (JP) (For US Only).
SAITO, Yasuo [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: SATO, Hironosuke; (JP).
SAITO, Yasuo; (JP)
Agent: AOKI, Atsushi; (JP)
Priority Data:
2008-231325 09.09.2008 JP
Title (EN) ETCHANT FOR TITANIUM-BASED METAL, TUNGSTEN-BASED METAL, TITANIUM-TUNGSTEN-BASED METAL OR NITRIDES THEREOF
(FR) AGENT DE GRAVURE POUR MÉTAL À BASE DE TITANE, MÉTAL À BASE DE TUNGSTÈNE, MÉTAL À BASE DE TITANE ET DE TUNGSTÈNE OU NITRURES DE CEUX-CI
(JA) チタン系金属、タングステン系金属、チタンタングステン系金属またはそれらの窒化物のエッチング液
Abstract: front page image
(EN)An etchant for titanium-based metals, tungsten-based metals, titanium-tungsten-based metals or nitrides of those metals, which contains hydrogen peroxide, an organic acid salt and water.  The etchant enables uniform etching of titanium-based metals, tungsten-based metals, titanium-tungsten-based metals or nitrides of those metals, while suppressing foaming, and has excellent etching selectivity to substrate materials and metals other than titanium-based metals, tungsten-based metals and titanium-tungsten-based metals.
(FR)La présente invention a pour objet un agent de gravure pour des métaux à base de titane, des métaux à base de tungstène, des métaux à base de titane et de tungstène ou les nitrures de ces métaux, l’agent de gravure contenant du peroxyde d’hydrogène, un sel d’acide organique et de l’eau. L’agent de gravure permet une gravure uniforme des métaux à base de titane, des métaux à base de tungstène, des métaux à base de titane et de tungstène ou des nitrures de ces métaux, tout en supprimant le moussage, et présente une excellente sélectivité de gravure par rapport aux matériaux de substrat et aux métaux autres que les métaux à base de titane, les métaux à base de tungstène et les métaux à base de titane et de tungstène.
(JA) 過酸化水素、有機酸塩および水を含む、チタン系金属、タングステン系金属、チタンタングステン系 金属またはそれらの窒化物のエッチング液である。これを使用することにより、発泡を抑えたチタン系 金属、タングステン系金属、チタンタングステン系金属またはそれらの窒化物の均一なエッチングが可 能であり、チタン系金属、タングステン系金属、チタンタングステン系金属の他の金属や基板材料に対 する選択エッチング性に優れるエッチング液が得られる。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)