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Pub. No.:    WO/2010/029772    International Application No.:    PCT/JP2009/004547
Publication Date: 18.03.2010 International Filing Date: 11.09.2009
G01R 31/26 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01)
Applicants: ADVANTEST CORPORATION [JP/JP]; 1-32-1, Asahi-cho, Nerima-ku, Tokyo 1790071 (JP) (For All Designated States Except US).
FURUKAWA, Yasuo [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: FURUKAWA, Yasuo; (JP)
Agent: RYUKA IP Law Firm; 5F, Shinjuku Square Tower, 22-1, Nishi-Shinjuku 6-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 1631105 (JP)
Priority Data:
12/209,213 12.09.2008 US
(JA) 試験装置および試験方法
Abstract: front page image
(EN)Provided is a test device for testing a device under test. The test device is provided with: a power supply unit for supplying power to a power supply terminal of a device under test, a power supply control unit in which the power supply unit is controlled to output power at a plurality of voltage levels, a current measurement unit in which the current value at each voltage level is measured as the stationary current of the device under test supplied from the power supply unit to the power supply terminal, and an analysis unit in which at least three of the current values of each voltage level measured by the current measurement unit are used to analyze the presence or absence of faults in the device under test.
(FR)L'invention concerne un dispositif d'essai pour tester un dispositif à l'essai. Le dispositif d'essai comprend: une unité d'alimentation en puissance pour alimenter en puissance une borne d'alimentation en puissance d'un dispositif à l'essai, une unité de commande d'alimentation en puissance dans laquelle l'unité d'alimentation en puissance est commandée pour produire une puissance à une pluralité de niveaux de tension, une unité de mesure du courant dans laquelle la valeur du courant à chaque niveau de tension est mesurée en tant que courant stationnaire du dispositif à l'essai alimenté depuis l'unité d'alimentation en puissance vers la borne d'alimentation en puissance, et une unité d'analyse dans laquelle au moins trois des valeurs du courant à chaque niveau de tension mesuré par l'unité de mesure du courant sont utilisées pour analyser la présence ou l'absence de pannes dans le dispositif à l'essai.
(JA) 被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスの電源端子に電力を供給する電源部と、複数の電圧レベルで電源部が電力を出力するよう制御する電源制御部と、電源部から電源端子に供給される被試験デバイスの静止時電流であって、電圧レベルごとの電流値を測定する電流測定部と、電流測定部が測定した電圧レベルごとの電流値のうち少なくとも3つの電流値を利用して、被試験デバイスの欠陥の有無を解析する解析部と、を備えた試験装置を提供する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)