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1. (WO2010029269) DEVICE FOR GENERATING AN ION BEAM WITH MAGNETIC FILTER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/029269    International Application No.:    PCT/FR2009/051719
Publication Date: 18.03.2010 International Filing Date: 14.09.2009
IPC:
H01J 27/02 (2006.01), H01J 3/40 (2006.01), H01J 37/08 (2006.01)
Applicants: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (C.N.R.S) [FR/FR]; 3, rue Michel Ange F-75016 Paris (FR) (For All Designated States Except US).
RAITH GMBH [DE/DE]; Konrad-Adenauer-Allee 8 44263 Dortmund (DE) (For All Designated States Except US).
JEDE, Ralf [DE/DE]; (DE) (For US Only).
GIERAK, Jacques [FR/FR]; (FR) (For US Only)
Inventors: JEDE, Ralf; (DE).
GIERAK, Jacques; (FR)
Agent: BLOT, Philippe; Cabinet Lavoix 2, Place d'Estienne d'Orves F-75441 Paris Cedex 09 (FR)
Priority Data:
0856189 15.09.2008 FR
0856190 15.09.2008 FR
Title (EN) DEVICE FOR GENERATING AN ION BEAM WITH MAGNETIC FILTER
(FR) DISPOSITIF DE GÉNÉRATION D'UN FAISCEAU D'IONS AVEC FILTRE MAGNÉTIQUE
Abstract: front page image
(EN)The invention relates to a device (2) for generating an ion beam (4), comprising a support (6), an ion source (18), this ion source having a lower end (8) connected to the support (6) and an upper end (10) opposite the lower end (8), and an extraction means (12), for extracting the ions emitted by the source, this extraction means (12) comprising a wall (14) having an opening (16), the opening (16) being placed close to the upper end (10) of the ion source (18), so as to allow the extracted ions to pass through this opening. The device (2) further includes a means (M1, M2) for the generation of a magnetic field (B) capable of generating a magnetic field in the opening (16) of the extraction means, the generated magnetic field (B) being capable of deflecting charged particles (20) attracted by the ion source so that these charged particles do not reach the ion source.
(FR)L'invention concerne un dispositif (2) de génération d'un faisceau d'ions (4), comprenant un support (6), une source d'ions (18), cette source d'ions comportant une extrémité inférieure (8) reliée au support (6) et une extrémité supérieure (10), à l'opposé de l'extrémité inférieure (8), et un moyen (12) d'extraction des ions émis par la source, ce moyen d'extraction (12) comprenant une paroi (14) munie d'une ouverture (16), l'ouverture (16) étant agencé à proximité de l'extrémité supérieure (10) de la source d'ions (18), afin de permettre le passage des ions extraits à travers cette ouverture. Ce dispositif (2) comprend en outre un moyen (M1, M2) de génération d'un champ magnétique (B) apte à générer un champ magnétique au niveau de l'ouverture (16) du moyen d'extraction, le champ magnétique généré (B) étant apte à dévier des particules chargées (20) attirées par la source d'ions de manière à ce que ces particules chargées n'atteignent pas la source d'ions.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: French (FR)
Filing Language: French (FR)