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1. (WO2010029075) ROTATABLE, HEATABLE PLACEMENT TOOL AND CHIP MOUNTING SYSTEM COMPRISING SUCH A PLACEMENT TOOL
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/029075    International Application No.:    PCT/EP2009/061634
Publication Date: 18.03.2010 International Filing Date: 08.09.2009
Chapter 2 Demand Filed:    22.03.2010    
IPC:
H01L 21/683 (2006.01), H01L 21/60 (2006.01)
Applicants: KULICKE AND SOFFA DIE BONDING GMBH [CH/CH]; Andhausen 52 CH-8572 Berg (CH) (For All Designated States Except US).
TRINKS, Joachim [CH/CH]; (CH) (For US Only)
Inventors: TRINKS, Joachim; (CH)
Common
Representative:
KULICKE AND SOFFA DIE BONDING GMBH; attn. Dr. Thomas Körner Andhausen 52 CH-8572 Berg (CH)
Priority Data:
61/095,417 09.09.2008 US
Title (DE) DREHBARES, BEHEIZBARES PLATZIERWERKZEUG UND CHIPMONTAGEAUTOMAT MIT EINEM SOLCHEN PLATZIERWERZEUG
(EN) ROTATABLE, HEATABLE PLACEMENT TOOL AND CHIP MOUNTING SYSTEM COMPRISING SUCH A PLACEMENT TOOL
(FR) OUTIL DE POSITIONNEMENT POUVANT ÊTRE CHAUFFÉ ET TOURNÉ, ET MICROSOUDEUSE DE PUCES ÉQUIPÉE D'UN TEL OUTIL DE POSITIONNEMENT
Abstract: front page image
(DE)Ein Platzierwerkzeug, welches in Richtung einer z-Achse senkrecht zu einem Substrat bewegbar ist, umfasst: ein Halteelement für ein Halbleiterbauelement, welches ein Heizelement aufweist; eine Aufnahme für das Halteelement, welche drehbar um die z-Achse am Platzierwerkzeug gelagert ist und einen Isolationskörper aus wärmeisolierendem Material aufweist; einen Antrieb für die Aufnahme, mittels welchem die Aufnahme um die z-Achse gedreht werden kann; und eine Zuführung für ein Kühlfluid, mittels welchem die Aufnahme für das Halteelement gekühlt werden kann.
(EN)A placement tool, which can move in the direction of a z-axis perpendicular to a substrate, comprises: a carriage element for a semiconductor component, said carriage element comprising a heating element; a receptacle for the carriage element, said receptacle being mounted rotatably about the z-axis at the placement tool and comprising an insulation member made of thermally insulating material; a drive for the receptacle for rotating the receptacle about the z-axis; and a feed for a cooling fluid for cooling the receptacle for the carriage element.
(FR)L'invention concerne un outil de positionnement qui est mobile en direction d'un axe z perpendiculairement à un substrat et qui comporte un élément de maintien pour un composant semi-conducteur, cet élément de maintien comportant un élément chauffant; un support pour l'élément de maintien, ce support étant monté rotatif autour de l'axe z sur l'outil de positionnement et comportant un corps isolant constitué d'un matériau thermo-isolant; un entraînement pour le support, permettant de faire tourner le support autour de l'axe z; et une conduite pour un fluide de refroidissement qui refroidit le support pour l'élément de maintien.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)