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1. (WO2010028879) SENSOR ARRANGEMENT, METHOD FOR OPERATING A SENSOR ARRANGEMENT AND METHOD FOR PRODUCING A SENSOR ARRANGEMENT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/028879    International Application No.:    PCT/EP2009/058802
Publication Date: 18.03.2010 International Filing Date: 10.07.2009
IPC:
G01L 7/08 (2006.01), G01L 9/00 (2006.01), G01L 13/02 (2006.01)
Applicants: ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart (DE) (For All Designated States Except US).
AHLES, Marcus [DE/DE]; (DE) (For US Only).
BENZEl, Hubert [DE/DE]; (DE) (For US Only).
WEBER, Heribert [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: AHLES, Marcus; (DE).
BENZEl, Hubert; (DE).
WEBER, Heribert; (DE)
Common
Representative:
ROBERT BOSCH GMBH; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart (DE)
Priority Data:
10 2008 041 942.7 10.09.2008 DE
Title (DE) SENSORANORDNUNG, VERFAHREN ZUM BETRIEB EINER SENSORANORDNUNG UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER SENSORANORDNUNG
(EN) SENSOR ARRANGEMENT, METHOD FOR OPERATING A SENSOR ARRANGEMENT AND METHOD FOR PRODUCING A SENSOR ARRANGEMENT
(FR) SYSTÈME DE CAPTEUR, PROCÉDÉ POUR FAIRE FONCTIONNER UN SYSTÈME DE CAPTEUR ET PROCÉDÉ POUR PRODUIRE UN SYSTÈME DE CAPTEUR
Abstract: front page image
(DE)Es wird eine Sensoranordnung, insbesondere Drucksensoranordnung, mit einem Substrat vorgeschlagen, wobei das Substrat wenigstens einen Grabenauf einer ersten Seite aufweist und wobei der Graben zur Bildung eines ersten Membranbereichs auf einer der ersten Seite gegenüberliegenden zweiten Seite vorgesehen ist und wobei ferner in das Material des ersten Membranbereichs ein zweiter Membranbereich und eine Kaverne integriert sind.
(EN)The invention relates to a sensor arrangement, particularly a pressure sensor arrangement, comprising a substrate, wherein the substrate has at least one groove on a first side, and wherein the groove is provided for forming a first membrane region on a second side opposite of the first side, and wherein furthermore a second membrane region and a cavity are integrated into the material of the first membrane region.
(FR)L'invention concerne un système de capteur, en particulier un système de capteur de pression, comprenant un substrat qui présente sur une première face au moins une tranchée servant à former une première zone de membrane sur une deuxième face opposée à la première face. Selon l'invention, une deuxième zone de membrane et une caverne sont intégrées dans le matériau de la première zone de membrane.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)