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1. (WO2010028865) PHOTOACOUSTIC GAS SENSOR AND USE THEREOF
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/028865    International Application No.:    PCT/EP2009/006743
Publication Date: 18.03.2010 International Filing Date: 09.09.2009
IPC:
G01N 21/17 (2006.01), G01N 29/24 (2006.01)
Applicants: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. [DE/DE]; Hansastrasse 27c 80686 München (DE) (For All Designated States Except US).
MIOPAS GmbH [DE/DE]; Am Stollen 19 38640 Goslar (DE) (For All Designated States Except US).
HEIDRICH, Helmut [DE/DE]; (DE) (For US Only).
LÜTZOW, Peter [DE/DE]; (DE) (For US Only).
SCHLAAK, Wolfgang [DE/DE]; (DE) (For US Only).
VENGHAUS, Herbert [DE/DE]; (DE) (For US Only).
WEGNER, Thomas [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: HEIDRICH, Helmut; (DE).
LÜTZOW, Peter; (DE).
SCHLAAK, Wolfgang; (DE).
VENGHAUS, Herbert; (DE).
WEGNER, Thomas; (DE)
Agent: PFENNING, MEINIG & PARTNER; Joachimstaler Str. 12 10719 Berlin (DE)
Priority Data:
10 2008 047 658.7 12.09.2008 DE
Title (DE) PHOTOAKUSTISCHER GASSENSOR UND DESSEN VERWENDUNG
(EN) PHOTOACOUSTIC GAS SENSOR AND USE THEREOF
(FR) DÉTECTEUR DE GAZ PHOTO-ACOUSTIQUE ET SON UTILISATION
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft einen Gassensor mit einem mechanischen Mikroresonator, der eine Anregungsvorrichtung zum optischen Anregen einer mechanischen Schwingung des Mikroresonators sowie eine Auslesevorrichtung zum Detektieren der Schwingung des Mikroresonators aufweist, wobei die Auslesevorrichtung einen zusammen mit dem Mikroresonator auf einem dielektrisehen oder halbleitenden Substrat (1) realisierten Wellenleiter (7, 7') zum optischen Auslesen der Schwingung des Mikroresonators umfasst und wobei die Anregungsvorrichtung einen auf demselben Substrat (1) realisierten Lichtwellenleiter (5) aufweist, der eine Anregungslichtquelle (6) optisch mit einer unmittelbaren Umgebung des Mikroresonators verbindet. Die Erfindung betrifft ferner eine Verwendung eines solchen Sensors zum Analysieren einer Gaszusammensetzung.
(EN)The invention relates to a gas sensor having a mechanical microresonator, which has an excitation apparatus for optically exciting a mechanical oscillation of the microresonator as well as a reading apparatus for detecting the oscillation of the microresonator, wherein the reading apparatus comprises a waveguide (7, 7') which is implemented together with the microresonator on a dielectric or semiconducting substrate (1) and is intended to optically read the oscillation of the microresonator, and wherein the excitation apparatus has an optical waveguide (5) which is implemented on the same substrate (1) and optically connects an excitation light source (6) to the immediate surroundings of the microresonator. The invention also relates to a use of such a sensor to analyse a gas composition.
(FR)L'invention concerne un détecteur de gaz comprenant un microrésonateur mécanique présentant un dispositif d'excitation pour l'excitation optique d'une oscillation mécanique du microrésonateur, et un dispositif de lecture pour la détection de l'oscillation du microrésonateur, caractérisé en ce que le dispositif de lecture comprend un guide d'ondes (7, 7') réalisé conjointement avec le microrésonateur sur un substrat diélectrique ou semi-conducteur (1), pour la lecture optique de l'oscillation du microrésonateur, et en ce que le dispositif d'excitation présente un guide d'ondes lumineuses (5) réalisé sur le même substrat (1) et qui relie optiquement la source lumineuse d'excitation (6) avec un environnement immédiat du microrésonateur. L'invention concerne en outre une utilisation d'un tel détecteur pour l'analyse d'une composition gazeuse.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)