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1. (WO2010027466) DISPLACEMENT ACTUATION AND SENSING FOR AN ELECTROSTATIC DRIVE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/027466    International Application No.:    PCT/US2009/004966
Publication Date: 11.03.2010 International Filing Date: 03.09.2009
IPC:
B81B 7/00 (2006.01), B81B 7/02 (2006.01)
Applicants: THE BOARD OF TRUSTEES OF THE UNIVERSITY OF ILLINOIS [US/US]; 506 South Wright Street Urbana, IL 61801 (US) (For All Designated States Except US).
DONG, Jingyan [CN/US]; (US) (For US Only).
FERREIRA, Placid, M. [IN/US]; (US) (For US Only)
Inventors: DONG, Jingyan; (US).
FERREIRA, Placid, M.; (US)
Agent: PAYNTER, L., Scott; (US)
Priority Data:
12/231,673 04.09.2008 US
Title (EN) DISPLACEMENT ACTUATION AND SENSING FOR AN ELECTROSTATIC DRIVE
(FR) ACTIONNEMENT ET DÉTECTION DE DÉPLACEMENT POUR COMMANDE ÉLECTROSTATIQUE
Abstract: front page image
(EN)An electrostatic drive includes a first electrode and a second electrode responsive to a drive signal. The drive signal includes an actuation signal constituent and a sensing signal constituent. The sensing signal constituent is at a frequency higher than a natural mechanical resonant frequency of the electrostatic drive. In response to the actuation signal constituent, displacement between the first electrode and the second electrode changes, which is evaluated by detecting a change in an electrical characteristic of the drive as a function of the sensing signal constituent.
(FR)L'invention porte sur une commande électrostatique qui comprend une première électrode et une seconde électrode sensible à un signal d'attaque. Le signal d'attaque comprend une composante de signal d'actionnement et une composante de signal de détection. La composante de signal de détection est à une fréquence supérieure à une fréquence de résonance mécanique naturelle de la commande électrostatique. En réponse à la composante de signal d'actionnement, un déplacement entre la première électrode et la seconde électrode varie, qui est évalué par détection d'une variation dans une caractéristique électrique de l'actionneur en fonction de la composante de signal de détection.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)