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1. (WO2010027128) COMPOUND FOR FILLING SMALL GAPS IN SEMICONDUCTOR DEVICE, COMPOSITION COMPRISING THE COMPOUND AND PROCESS FOR FABRICATING SEMICONDUCTOR CAPACITOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/027128    International Application No.:    PCT/KR2008/007839
Publication Date: 11.03.2010 International Filing Date: 31.12.2008
IPC:
C08G 77/04 (2006.01)
Applicants: CHEIL INDUSTRIES INC. [KR/KR]; 290, Kongdan-dong Kumi-city Kyungsangbuk-do 730-030 (KR) (For All Designated States Except US).
LEE, Sung Jae [KR/KR]; (KR) (For US Only).
KIM, Hee Jae [KR/KR]; (KR) (For US Only).
KIM, Tae Ho [KR/KR]; (KR) (For US Only).
YUN, Sang Geun [KR/KR]; (KR) (For US Only).
WOO, Chang Soo [KR/KR]; (KR) (For US Only)
Inventors: LEE, Sung Jae; (KR).
KIM, Hee Jae; (KR).
KIM, Tae Ho; (KR).
YUN, Sang Geun; (KR).
WOO, Chang Soo; (KR)
Agent: PANKOREA PATENT & LAW FIRM; Seolim Bldg. 649-10, Yoksam-dong Kangnam-ku Seoul 135-080 (KR)
Priority Data:
10-2008-0086383 02.09.2008 KR
Title (EN) COMPOUND FOR FILLING SMALL GAPS IN SEMICONDUCTOR DEVICE, COMPOSITION COMPRISING THE COMPOUND AND PROCESS FOR FABRICATING SEMICONDUCTOR CAPACITOR
(FR) COMPOSÉ DESTINÉ À REMPLIR DE PETITS ESPACES DANS UN DISPOSITIF SEMI-CONDUCTEUR, COMPOSITION COMPRENANT LE COMPOSÉ ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN CONDENSATEUR SEMI-CONDUCTEUR
Abstract: front page image
(EN)Provided is a compound suitable for use in a node separation process for the fabrication of a semiconductor capacitor. The molecular weight of the polymer remains substantially unchanged during storage. In addition, the polymer is dissolved at a desired rate in an alkaline developing solution and is highly stable without any significant change in dissolution rate (DR) during storage. Also provided is a composition comprising the compound. The composition is highly stable during storage. Therefore, the composition is suitable for filling small gaps in a semiconductor device.
(FR)La présente invention concerne un composé approprié pour une utilisation dans un procédé de séparation de nœuds pour la fabrication d'un condensateur semi-conducteur. Le poids moléculaire du polymère reste essentiellement inchangé pendant le stockage. De plus, le polymère est dissous à une vitesse souhaitée dans une solution de développement alcaline et est très stable sans aucun changement significatif dans la vitesse de dissolution pendant le stockage. L'invention concerne également une composition comprenant le composé. La composition est hautement stable pendant le stockage. Par conséquent, la composition est appropriée pour remplir de petits espaces dans un dispositif semi-conducteur.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: Korean (KO)