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1. (WO2010027112) METHOD OF MANUFACTURING MULTI-LEVEL METAL THIN FILM AND APPARATUS FOR MANUFACTURING THE SAME
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/027112    International Application No.:    PCT/KR2008/005235
Publication Date: 11.03.2010 International Filing Date: 04.09.2008
IPC:
C23C 16/06 (2006.01), H01L 21/285 (2006.01), H05K 3/46 (2006.01)
Applicants: INTEGRATED PROCESS SYSTEMS LTD [KR/KR]; 33, Jije-dong Pyungtaek Si, Gyeonggi-do 450-090 (KR) (For All Designated States Except US).
LEE, Jung Wook [KR/KR]; (KR) (For US Only).
PARK, Young Hoon [KR/KR]; (KR) (For US Only)
Inventors: LEE, Jung Wook; (KR).
PARK, Young Hoon; (KR)
Agent: LEE, Cheol Hee; Guardian International Patent & Law Office 2F, Woo Kyeong Bldg., 156-13 Samseong-dong, Kangnam-ku Seoul 135-090 (KR)
Priority Data:
Title (EN) METHOD OF MANUFACTURING MULTI-LEVEL METAL THIN FILM AND APPARATUS FOR MANUFACTURING THE SAME
(FR) PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN FILM MÉTALLIQUE MINCE À NIVEAUX MULTIPLES ET DISPOSITIF DE FABRICATION DE CELUI-CI
Abstract: front page image
(EN)Provided are methods and apparatuses for manufacturing a multilayer metal thin film without additional heat treatment processes. The method of manufacturing a multilayer metal thin film including steps of: (a) forming a first metal layer on a substrate by flowing a first metal precursor into a first reaction container; and (b) forming a second metal layer on the first metal layer by flowing a second metal precursor into a second reaction container, wherein the step (b) is performed in a range of a heat treatment temperature of the first metal layer so that the second metal layer is formed as the first metal layer is heat-treated.
(FR)L'invention concerne des procédés et des dispositifs pour fabriquer un film métallique mince multicouche sans procédés de traitement thermique supplémentaires. Le procédé de fabrication d'un film métallique mince multicouche comprend les étapes suivantes: (a) former une première couche métallique sur un substrat par l'écoulement d'un premier précurseur métallique dans un premier récipient de réaction; et (b) former une deuxième couche métallique sur la première couche métallique par l'écoulement d'un deuxième précurseur métallique dans un deuxième récipient de réaction, l'étape (b) étant exécutée dans une gamme de température de traitement thermique de la première couche métallique de telle sorte que la deuxième couche métallique soit formée en même temps que la première couche métallique est traitée thermiquement.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)