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1. (WO2010026833) SCANNING TYPE CHARGED PARTICLE MICROSCOPE DEVICE AND METHOD FOR PROCESSING IMAGE ACQUIRED WITH SCANNING TYPE CHARGED PARTICLE MICROSCOPE DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/026833    International Application No.:    PCT/JP2009/062563
Publication Date: 11.03.2010 International Filing Date: 03.07.2009
IPC:
H01J 37/22 (2006.01), H01J 37/21 (2006.01), H01J 37/28 (2006.01)
Applicants: Hitachi High-Technologies Corporation. [JP/JP]; 24-14, Nishishimbashi 1-chome Minato-ku, Tokyo 105-8717 (JP) (For All Designated States Except US).
BAI, Jie [CN/JP]; (JP) (For US Only).
NAKAHIRA, Kenji [JP/JP]; (JP) (For US Only).
MIYAMOTO, Atsushi [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: BAI, Jie; (JP).
NAKAHIRA, Kenji; (JP).
MIYAMOTO, Atsushi; (JP)
Agent: INOUE, Manabu; c/o Hitachi, LTD. 6-1, Marunouchi 1-chome Chiyoda-ku, Tokyo 100-8220 (JP)
Priority Data:
2008-229216 08.09.2008 JP
Title (EN) SCANNING TYPE CHARGED PARTICLE MICROSCOPE DEVICE AND METHOD FOR PROCESSING IMAGE ACQUIRED WITH SCANNING TYPE CHARGED PARTICLE MICROSCOPE DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE MICROSCOPE À PARTICULES CHARGÉES DE TYPE BALAYAGE ET PROCÉDÉ DE TRAITEMENT D’UNE IMAGE ACQUISE AVEC LE DISPOSITIF DE MICROSCOPE À PARTICULES CHARGÉES DE TYPE BALAYAGE
(JA) 走査型荷電粒子顕微鏡装置及び走査型荷電粒子顕微鏡装置で取得した画像の処理方法
Abstract: front page image
(EN)A method for processing an image acquired with a scanning type charged particle microscope device acquires a plurality of images (Iin, 1 through Iin, n) of a sample picked up by means of the scanning type charged particle microscope device under different pickup conditions (1 through n) of the images of the sample, generates deterioration functions (A1 through An) corresponding to the plurality of the images, and generates an image (Iout) to improve resolution of the sample by using the plurality of the images and the plurality of the deterioration functions.  Thus, since the method for processing the image acquired with the scanning type charged particle microscope device can obtain an image that is higher in resolution than an image obtained by imaging a sample under a single pickup condition, it is possible to observe a fine structure of the sample and to carry out the high accurate calculation of characteristic amounts.
(FR)L’invention concerne un procédé de traitement d’une image acquise par un dispositif de microscope à particules chargées de type balayage, lequel consiste à acquérir une pluralité d’images (Iin, 1 à Iin, n) d’un échantillon que l’on prélève à l’aide du dispositif de microscope à particules chargées de type balayage dans différentes conditions de prélèvement (1 à n) des images de l’échantillon, à générer des fonctions de détérioration (A1 à An) correspondant à la pluralité des images, et à générer une image (Iout) afin d’améliorer la résolution de l’échantillon en utilisant la pluralité d’images et la pluralité des fonctions de détérioration. Ainsi, étant donné que le procédé de traitement de l’image acquise par le dispositif de microscope à particules chargées de type balayage permet d’obtenir une image possédant une résolution plus grande que celle d’une image obtenue par imagerie d’un échantillon dans une condition de prélèvement unique, il est possible d’observer une structure fine de l’échantillon et d’effectuer un calcul de haute précision des quantités caractéristiques.
(JA)  本発明の走査型荷電粒子顕微鏡装置で取得した画像の処理方法は、走査型荷電粒子顕微鏡を用いて、試料の画像を異なる撮像条件(1~n)下で撮影して該試料の複数の画像(Iin,1~Iin,n)を取得し、前記複数の画像に対応する複数の劣化関数(A~A)を生成し、前記複数の画像と前記複数の劣化関数とを用いて、該試料の分解能を向上させた画像(Iout )を生成する。 これにより、試料を一つの撮像条件の下で撮像して得られる画像よりも分解能が高い画像を得ることができるので試料の微細構造の観察,及び特徴量の高精度な計算が可能になった。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)