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1. (WO2010026817) TUNING-FORK VIBRATOR AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME AND ANGULAR SPEED SENSOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/026817    International Application No.:    PCT/JP2009/060738
Publication Date: 11.03.2010 International Filing Date: 12.06.2009
IPC:
G01C 19/5607 (2012.01), G01C 19/5628 (2012.01), H03H 9/02 (2006.01), H03H 9/19 (2006.01), H03H 9/215 (2006.01)
Applicants: Murata Manufacturing Co., Ltd. [JP/JP]; 10-1, Higashikotari 1-chome, Nagaokakyo-shi, Kyoto 6178555 (JP) (For All Designated States Except US).
OGURI, Shinya [JP/JP]; (JP) (For US Only).
TABOTA, Jun [JP/JP]; (JP) (For US Only).
KOIKE, Masato [JP/JP]; (JP) (For US Only).
KIYOHARA, Tomohiko [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: OGURI, Shinya; (JP).
TABOTA, Jun; (JP).
KOIKE, Masato; (JP).
KIYOHARA, Tomohiko; (JP)
Agent: OKADA, Masahiro; (JP)
Priority Data:
2008-224568 02.09.2008 JP
Title (EN) TUNING-FORK VIBRATOR AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME AND ANGULAR SPEED SENSOR
(FR) VIBRATEUR À DIAPASON, SON PROCÉDÉ DE FABRICATION, ET CAPTEUR DE VITESSE ANGULAIRE
(JA) 音叉型振動子とその製造方法および角速度センサ
Abstract: front page image
(EN)Provided is a tuning-fork vibrator exhibiting good insulation reliability at the time of mounting on a circuit board, and having a high vibrator sensitivity and a high S/N ratio. A piezoelectric vibrator (70, 72) includes a tuning-fork vibrator (78) having a base (74) and legs (76a, 76b).  The piezoelectric vibrator (70, 72) is formed as a laminate of two piezoelectric substrates (80, 82), an intermediate electrode (84), surface electrodes (86, 88, 90), and a whole surface electrode (94).  The surface electrodes (86, 88, 90) are divided by division portions (92a, 92b) extending from the base (74) to the legs (76a, 76b).  The division portions (92a, 92b) are formed wider at portions joining to a circuit board than at the other portions.  The division portions (92a, 92b) are formed by dividing an electrode formed on the whole surface of a piezoelectric plate constituting the vibrator (78) by means of a dicer, or by dividing the electrode by means of laser irradiation or etching.
(FR)L'invention porte sur un vibrateur à diapason présentant une bonne fiabilité d'isolation au moment du montage sur une carte de circuit, et ayant une sensibilité de vibrateur élevée et un rapport signal sur bruit élevé. Un vibrateur piézoélectrique (70, 72) comprend un vibrateur à diapason (78) pourvu d’une base (74) et de jambes (76a, 76b). Le vibrateur piézoélectrique (70, 72) est constitué d’un stratifié de deux substrats piézoélectriques (80, 82), d’une électrode intermédiaire (84), d’électrodes de surface (86, 88, 90) et d’une électrode de surface entière (94). Les électrodes de surface (86, 88, 90) sont divisées en parties de division (92a, 92b) s'étendant de la base (74) jusqu'aux jambes (76a, 76b). Les parties de division (92a, 92b) sont plus larges au niveau de parties reliant une carte de circuit qu'au niveau des autres parties. Les parties de division (92a, 92b) sont élaborées par division d'une électrode formée sur la surface entière d'une plaque piézoélectrique constituant le vibrateur (78) au moyen d'un diviseur, ou par division de l'électrode au moyen d’un rayonnement laser ou d’une gravure.
(JA) 回路基板に実装する際の絶縁信頼性が良好で、かつ振動子感度が高く、S/N比の良好な音叉型振動子と、その効率的な製造方法を得る。  圧電振動子70,72は、基台部74と脚部76a,76bとを有する音叉型の振動体78を含む。また、圧電振動子70,72は、2つの圧電体基板80,82、中間電極84、表面電極86,88,90および全面電極94の積層体として形成される。表面電極86,88,90は、基台部74から脚部76a,76bに延びる分割部92a,92bで分割されている。回路基板との接続部分における分割部92a,92bの幅は、他の部分における分割部92a,92bの幅より広くなるように形成される。分割部92a,92bは、振動体78を構成するための圧電体板上の全面に形成された電極をダイサーで分割したり、レーザー照射やエッチングによって分割することにより形成される。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)