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1. (WO2010026733) SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS AND VACUUM FILM-FORMING APPARATUS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/026733    International Application No.:    PCT/JP2009/004267
Publication Date: 11.03.2010 International Filing Date: 31.08.2009
IPC:
B65G 49/06 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01)
Applicants: CANON ANELVA CORPORATION [JP/JP]; 2-5-1, Kurigi, Asao-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa 2158550 (JP) (For All Designated States Except US).
AONUMA, Daisuke [JP/JP]; (JP) (For US Only).
KAJIHARA, Yuji [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: AONUMA, Daisuke; (JP).
KAJIHARA, Yuji; (JP)
Agent: OHTSUKA, Yasunori; (JP)
Priority Data:
2008-228341 05.09.2008 JP
2008-228342 05.09.2008 JP
Title (EN) SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS AND VACUUM FILM-FORMING APPARATUS
(FR) APPAREIL DE TRANSFERT DE SUBSTRAT ET APPAREIL FILMOGÈNE SOUS VIDE
(JA) 基板搬送装置及び真空成膜装置
Abstract: front page image
(EN)A substrate transfer apparatus is provided with: trays (4a, 4b) which hold substrates (3a, 3b); a carrier (20) which moves on a transfer path (7) with a bearing (guide member) (6) between the carrier and the transfer path; and a driving means which moves the carrier (20) along the transfer path (7).  The substrates are transferred along the transfer path by being driven by the driving means while being held in the direction perpendicular to the surface which includes the transfer surface.  At that time, vibration generated while the carrier (20) is transferring the substrates is suppressed by disposing a vibration-proofing material (8) on a transfer path (7) portion in contact with a floor surface along the transfer path (7) or by disposing the vibration-proof material (8) between the carrier (20) and the rack gear (16) along the transfer path.
(FR)L'invention concerne un appareil de transfert de substrat comprenant : des plateaux (4a, 4b) qui supportent des substrats (3a, 3b) ; un dispositif de transport (20) qui se déplace sur un chemin de transfert (7) avec un support (élément de guidage) (6) entre le dispositif de transport et le chemin de transfert ; et un moyen d'entraînement qui déplace le dispositif de transport (20) le long du chemin de transfert (7). Les substrats sont transférés le long du chemin de transfert par entraînement du moyen d'entraînement tout en étant maintenus dans la direction perpendiculaire à la surface qui comprend la surface de transfert. À ce moment, les vibrations générées pendant que le dispositif de transport (20) transfère les substrats sont supprimées par la mise en place d'un matériau résistant aux vibrations (8) sur une partie du chemin de transfert (7) en contact avec une surface de plancher le long du chemin de transfert (7) ou la mise en place du matériau résistant aux vibrations (8) entre le dispositif de transport (20) et l'engrenage à crémaillère (16) le long du chemin de transfert.
(JA) 基板(3a、3b)を保持するトレイ(4a、4b)、軸受(案内部材)(6)を介して搬送路(7)の上を移動するキャリア(20)、キャリア(20)を搬送路(7)に沿って移動させる駆動手段を具備する。駆動手段の駆動により搬送路に沿って基板を搬送路を含む面に対して鉛直方向に向けて搬送する。その際、搬送路(7)の床面との接触部分に搬送路(7)に沿って防振材(8)を配置し、または、キャリア(20)とラックギア(16)の間に搬送路に沿って防振材(8)を配置することにより、キャリア(20)の搬送時の振動を抑制する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)