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1. (WO2010026100) VACUUM VALVE WITH GAS-TIGHT SHAFT PENETRATION
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/026100    International Application No.:    PCT/EP2009/061061
Publication Date: 11.03.2010 International Filing Date: 27.08.2009
IPC:
F16K 1/226 (2006.01), F16K 41/04 (2006.01), F16K 51/02 (2006.01)
Applicants: VAT HOLDING AG [CH/CH]; Seelistrasse CH-9469 Haag (CH) (For All Designated States Except US).
EHRNE, Florian [AT/AT]; (AT) (For US Only)
Inventors: EHRNE, Florian; (AT)
Agent: KAMINSKI HARMANN PATENTANWAELTE EST.; HARMANN, Bernd-Günther Austrasse 79 FL-9490 Vaduz (LI)
Priority Data:
08015681.3 05.09.2008 EP
Title (DE) VAKUUMVENTIL MIT GASDICHTER WELLENDURCHFÜHRUNG
(EN) VACUUM VALVE WITH GAS-TIGHT SHAFT PENETRATION
(FR) VALVE À VIDE AVEC TRAVERSÉE D'ARBRE ÉTANCHE AUX GAZ
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft ein Vakuumventil zum Unterbrechen, Freigeben oder Regeln eines im Innenbereich (3) des Vakuumventils (1) strömenden Flusses eines Mediums. Eine mit einem Ventilantrieb (5) gekoppelte Welle (6) ist von dem Atmosphärenbereich (4) in den Innenbereich (3) durch ein Ventilgehäuse (2) mittels einer dichtenden Wellendurchführung (20) gasdicht geführt, so dass eine vom Ventilantrieb (5) erzeugte Bewegung von dem Atmosphärenbereich (4) in den Innenbereich (3) zum Unterbrechen, Freigeben oder Regeln des Flusses übertragbar ist. Die Wellendurchführung (20) umfasst einen ersten Dichtring (21), der die Welle (6) gasdicht in radialer Richtung dichtend konzentrisch umschliesst, eine Auflagefläche (22), die zumindest teilweise in eine Richtung axial zur Welle (6) weist und auf welcher der erste Dichtring (21) gasdicht dichtend aufliegt, einen Abstützring (23) und eine Feder (25). Ein inneres konisches Segment (24) des Abstützrings (23) umschliesst zumindest teilweise den ersten Dichtring (21). Die Feder (25) drückt den Abstützring (23) derart axial in Richtung zur Auflagefläche (22), dass das konische Segment (24) den ersten Dichtring (21) elastisch nachgiebig auf die Auflagefläche (22) und die Welle (6) im Wesentlichen mit konstantem Anpressdruck drückt.
(EN)The invention relates to a vacuum valve for interrupting, releasing or controlling a flowing medium in the interior (3) of the vacuum valve (1). A shaft (6) coupled to a valve drive (5) is routed gas-tight from the atmospheric area (4) to the interior (3) through a valve housing (2) by way of a sealing shaft penetration (20) so that a movement produced by the valve drive (5) can be transferred from the atmospheric area (4) to the interior (3) for the purposes of interrupting, releasing or controlling the flow. The shaft penetration (20) comprises a first seal ring (21) that concentrically surrounds the shaft (6) in a gas-sealing manner in the radial direction, a support surface (22) that faces in an axial direction with respect to the shaft (6), at least partially, against said support surface the first seal ring (21) abuts in a gas-tight sealing manner, a support ring (23) and a spring (25). An inner, conic segment (24) of the support ring (23) surrounds the first seal ring (21), at least partially. The spring (25) presses the support ring (23) axially in the direction toward the support surface (22) in such a way that the conic segment (24) elastically presses the first seal ring (21) pliably onto the support surface (22) and the shaft (6) with a substantially constant pressure force.
(FR)L'invention concerne une valve à vide destinée à interrompre, autoriser ou réguler un flux d'un milieu s'écoulant dans la partie intérieure (3) de la valve à vide (1). Un arbre (6) couplé à un mécanisme (5) d'entraînement de valve passe de manière étanche aux gaz entre une partie à pression atmosphérique (4) et la partie intérieure (3) en traversant un boîtier de soupape (2) au moyen d'une traversée d'arbre (20) étanche, si bien qu'un mouvement produit par le mécanisme (5) d'entraînement de valve peut être transmis entre la partie à pression atmosphérique (4) et la partie intérieure (3) afin d'interrompre, d'autoriser ou de réguler le flux. La traversée d'arbre (20) comprend un premier joint d'étanchéité (21) qui entoure l'arbre (6) de manière concentrique et étanche aux gaz dans la direction radiale, une surface d'appui (22) qui est au moins partiellement orientée dans une direction axiale par rapport à l'arbre (6) et sur laquelle repose le premier joint d'étanchéité (21) de manière étanche aux gaz, une bague d'appui (23) et un ressort (25). Un segment intérieur conique (24) de la bague d'appui (23) entoure au moins partiellement le premier joint d'étanchéité (21). Le ressort (25) pousse la bague d'appui (23) axialement dans la direction de la surface d'appui (22), si bien que le segment conique (24) presse élastiquement et essentiellement avec une pression d'appui constante le premier joint d'étanchéité (21) contre la surface d'appui (22) et l'arbre (6).
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)