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1. (WO2010025847) DEVICE AND METHOD FOR MEASURING A SURFACE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/025847    International Application No.:    PCT/EP2009/006108
Publication Date: 11.03.2010 International Filing Date: 22.08.2009
IPC:
G01B 11/00 (2006.01), G01B 11/24 (2006.01), G01S 17/89 (2006.01)
Applicants: CARL ZEISS AG [DE/DE]; Carl-Zeiss-Strasse 22 73447 Oberkochen (DE) (For All Designated States Except US).
ALVAREZ DIEZ, Cristina [ES/DE]; (DE) (For US Only).
HÖLLER, Frank [DE/DE]; (DE) (For US Only).
SPRUCK, Bernd [DE/DE]; (DE) (For US Only).
TREMONT, Marc [LU/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: ALVAREZ DIEZ, Cristina; (DE).
HÖLLER, Frank; (DE).
SPRUCK, Bernd; (DE).
TREMONT, Marc; (DE)
Common
Representative:
CARL ZEISS AG [DE/DE]; GRÖBER, Volker Standort Jena Carl-Zeiss-Promenade 10 07745 Jena (DE)
Priority Data:
10 2008 045 387.0 02.09.2008 DE
Title (DE) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM VERMESSEN EINER OBERFLÄCHE
(EN) DEVICE AND METHOD FOR MEASURING A SURFACE
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE MESURE D'UNE SURFACE
Abstract: front page image
(DE)Eine Vorrichtung zum Vermessen einer Oberfläche (2) umfasst eine Lichtquelle (3), eine Lichtlenkeinrichtung (4-6), eine Detektoranordnung (10) und eine Auswerte- Schaltung (15). Die Lichtquelle (3) erzeugt eine Folge von Lichtpulsen mit einer Repetitionsrate. Die Lichtlenkeinrichtung (4-6) ist kontrollierbar, um die Folge von Lichtpulsen auf einen Oberflächenbereich (25) der Oberfläche (2) zu lenken. Der Oberflächenbereich kann aus mehreren Oberflächenbereichen (25, 27) ausgewählt werden. Die Detektoranordnung ist eingerichtet, um wenigstens ein von dem Oberflächenbereich (25) gestreutes und/oder reflektiertes Lichtsignal (21 -24) zu empfangen. Die Auswerteschaltung (15) ist mit der Detektoranordnung (10) gekoppelt und eingerichtet, um zum Bestimmen einer Position des Oberflächenbereichs (25) eine Phasendifferenz zwischen einem aus der Folge von Lichtpulsen abgeleiteten Referenzsignal (19) und einer Signalkomponente des wenigstens einen Lichtsignals (21 -24) zu ermittein. Dabei wird die Phasendifferenz für die Signalkomponente ermittelt, die eine Frequenz aufweist, die einem Vielfachen der Repetitionsrate entspricht.
(EN)A device for measuring surface (2) comprises a light source (3), a light guiding device (4-6), a detector system (10) and an evaluation circuit (15). The light source (3) generates a sequence of light pulses having a repetition rate. The light guiding device (4-6) can be controlled to guide the sequence of light pulses onto a surface area (25) of the surface (2). The surface area can be selected from a plurality of surface areas (25, 27). The detector system is adapted to receive at least one light signal (21-24) which is scattered and/or reflected by the surface area (25). The evaluation circuit (15) is coupled to the detector system (10) and is adapted to determine a phase difference between the reference signal (19) derived from the sequence of light pulses and a signal component of the at least one light signal (21-24) to determine a position of the surface area (25). The phase difference is determined for the signal component having a frequency that corresponds to a multiple of the repetition rate.
(FR)L'invention concerne un dispositif de mesure d'une surface (2), comportant une source de lumière (3), un dispositif d'orientation de lumière (4-9), un dispositif de détection (10) et un circuit d'évaluation (15). La source de lumière (3) génère une suite d'impulsions lumineuses à un taux de répétition donné. Le dispositif d'orientation de lumière (4-9) est commandé pour diriger la suite d'impulsions lumineuses sur une zone superficielle (25) de ladite surface (2), cette zone superficielle pouvant être sélectionnée parmi une pluralité de zones superficielles (25,27). Le dispositif de détection (13, 14) est conçu pour recevoir au moins un signal lumineux (21-24) réfléchi et/ou diffusé par la zone superficielle (25). Le circuit d'évaluation (15) est couplé au dispositif de détection (10) et conçu pour déterminer une différence de phase (67) entre un signal de référence (19) résultant de la suite d'impulsions lumineuses et une composante du ou des signaux lumineux (21-24), pour la détermination d'une position de la zone superficielle (25). La différence de phase est alors déterminée pour la composante de signal qui présente une fréquence correspondant à un multiple du taux de répétition.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)