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1. (WO2010025672) METHOD FOR ELLIPSOMETRIC MEASUREMENT AND DEVICE THEREOF
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/025672    International Application No.:    PCT/CN2009/073713
Publication Date: 11.03.2010 International Filing Date: 03.09.2009
Chapter 2 Demand Filed:    02.07.2010    
IPC:
G01N 21/21 (2006.01)
Applicants: RAINTREE SCIENTIFIC INSTRUMENTS (SHANGHAI) CORPORATION [CN/CN]; Builing 6, 68 Huatuo Road, Zhangjiang High Tech Park Pudong New District Shanghai 201203 (CN) (For All Designated States Except US).
DANG, Jiangtao [CN/CN]; (CN) (For US Only).
PAN, Ningning [CN/CN]; (CN) (For US Only).
GAO, Haijun [CN/CN]; (CN) (For US Only)
Inventors: DANG, Jiangtao; (CN).
PAN, Ningning; (CN).
GAO, Haijun; (CN)
Agent: KING & WOOD PRC LAWYERS; 31/F, Office Tower A Jianwai SOHO 39 Dongsanhuan Zhonglu Chaoyang District Beijing 100022 (CN)
Priority Data:
200810042435.7 03.09.2008 CN
Title (EN) METHOD FOR ELLIPSOMETRIC MEASUREMENT AND DEVICE THEREOF
(FR) PROCÉDÉ DE MESURE PAR ELLIPSOMÉTRIE ET DISPOSITIF ASSOCIÉ
(ZH) 一种椭偏测量的方法及其装置
Abstract: front page image
(EN)A method based on ellipsometric technology and a device thereof are disclosed. The method comprises the following steps: obtaining polarized light by polarizing beam at a designated polarizing azimuth angle; projecting the polarized light onto a surface to be measured and obtaining the characteristic lights that reflecting, and/or transmitting, and/or diffracting from the surface to be measured; analyzing one or more characteristic lights at designated analyzing azimuth angles and separating p component and s component respectively of one or more characteristic lights; detecting the light intensities of the p component and s component of the characteristic lights and getting a group of light intensities information of p component and s component that corresponding to the surface to be measured and obtaining a phase relationship information thereof; also includes determining a characteristic information of the surface based on a group of light intensities information obtained, that is corresponding to the surface to be measured.
(FR)L’invention concerne un procédé de mesure basé sur la technique de l’ellipsométrie et son dispositif associé. Selon ledit procédé, un rayon lumineux est polarisé en fonction d’un angle d’azimut de polarisation fixe pour obtenir une lumière polarisée qui est projetée sur la surface à mesurer afin d’obtenir des lumières caractéristiques après réflexion et/ou transmission et/ou diffraction via ladite surface à mesurer; au moins une lumière caractéristique est polarisée en fonction d’un angle d’azimut de test de polarisation fixe; les composants p et s d’au moins une lumière caractéristique sont séparés; l’intensité lumineuse des composants p et s de ladite source lumineuse sont testés afin d’obtenir une information sur l’intensité lumineuse d’un groupe composant p et composant s correspondant à ladite surface à étudier ainsi qu’une information sur la relation de phase existant entre eux; les propriétés de ladite surface à étudier sont déterminées en fonction d’une méthode prédéterminée et via une information basée sur un groupe d’intensités lumineuses obtenues.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Chinese (ZH)
Filing Language: Chinese (ZH)