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1. (WO2010025104) PROCESS KIT SHIELDS AND METHODS OF USE THEREOF
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/025104    International Application No.:    PCT/US2009/054741
Publication Date: 04.03.2010 International Filing Date: 24.08.2009
IPC:
H01L 21/00 (2006.01), H01L 21/02 (2006.01), H01L 21/683 (2006.01), H01L 21/687 (2006.01)
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, CA 95054 (US) (For All Designated States Except US).
SOMMERS, Joseph, F. [US/US]; (US) (For US Only).
MILLER, Keith, A. [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: SOMMERS, Joseph, F.; (US).
MILLER, Keith, A.; (US)
Agent: TABOADA, Alan; Moser IP Law Group 1030 Broad Street Suite 203 Shrewsbury, NJ 07702 (US)
Priority Data:
12/200,141 28.08.2008 US
Title (EN) PROCESS KIT SHIELDS AND METHODS OF USE THEREOF
(FR) ELÉMENTS DE PROTECTION DE KIT DE TRAITEMENT ET PROCÉDÉS D'UTILISATION DE CEUX-CI
Abstract: front page image
(EN)Process kit shields for use in a process chamber and methods of use thereof are provided herein. In some embodiments, the process kit shield may include a body having a wall comprising a first layer and a second layer bonded to the first layer, wherein the first layer comprises a first material resistant to a cleaning chemistry utilized to remove material disposed on the first layer during processing, and wherein the second layer comprises a second material different than the first material and having a coefficient of thermal expansion substantially similar to that of the first material. In some embodiments, the process kit shield may be disposed in a process chamber having a processing volume and a non-processing volume. The process kit shield may be disposed between the processing volume and the non-processing volume
(FR)L'invention concerne des éléments de protection de kit de traitement s'utilisant dans une chambre de traitement et des procédés d'utilisation de ceux-ci. Dans certaines formes de réalisation, l'élément de protection comprend un corps comportant une paroi qui présente une première couche et une deuxième couche, liée à la première; la première couche comprend une première matière de traitement résistant à un produit chimique de nettoyage utilisé pour éliminer une matière déposée sur la première couche pendant le traitement, et la deuxième couche comprend une deuxième matière, différente de la première et dont le coefficient d'expansion thermique est sensiblement similaire à celui de la première matière. Dans certaines formes de réalisation, l'élément de protection est placé dans une chambre de traitement comportant un volume de traitement et un volume non soumis au traitement. L'élément de protection peut être placé entre le volume de traitement et le volume non soumis au traitement.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)