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1. (WO2010024334) PLASMA PROCESSING APPARATUS, PLASMA PROCESSING METHOD, METHOD FOR CLEANING PLASMA PROCESSING APPARATUS AND PRESSURE CONTROL VALVE FOR PLASMA PROCESSING APPARATUS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/024334    International Application No.:    PCT/JP2009/064965
Publication Date: 04.03.2010 International Filing Date: 27.08.2009
IPC:
H01L 21/3065 (2006.01), C23C 16/44 (2006.01), H01L 21/205 (2006.01), H01L 21/304 (2006.01)
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325 (JP) (For All Designated States Except US).
NOZAWA, Toshihisa [JP/JP]; (JP) (For US Only).
KOMOTO, Shinji [JP/JP]; (JP) (For US Only).
IWASAKI, Masahide [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: NOZAWA, Toshihisa; (JP).
KOMOTO, Shinji; (JP).
IWASAKI, Masahide; (JP)
Agent: ITOH, Hidehiko; (JP)
Priority Data:
2008-219180 28.08.2008 JP
PCT/JP2009/061873 29.06.2009 JP
Title (EN) PLASMA PROCESSING APPARATUS, PLASMA PROCESSING METHOD, METHOD FOR CLEANING PLASMA PROCESSING APPARATUS AND PRESSURE CONTROL VALVE FOR PLASMA PROCESSING APPARATUS
(FR) APPAREIL DE TRAITEMENT PAR PLASMA, PROCÉDÉ DE TRAITEMENT PAR PLASMA, PROCÉDÉ POUR NETTOYER L’APPAREIL DE TRAITEMENT PAR PLASMA ET SOUPAPE RÉGULATRICE DE PRESSION POUR L’APPAREIL DE TRAITEMENT PAR PLASMA
(JA) プラズマ処理装置、プラズマ処理方法、プラズマ処理装置のクリーニング方法およびプラズマ処理装置用圧力調整バルブ
Abstract: front page image
(EN)A plasma processing apparatus (11) is provided with: a first air releasing path (15) extending downward from an air releasing port (13); a second air releasing path (16), which is connected to the downstream end section of the first air releasing path (15) in the air releasing direction, extends in the direction perpendicular to the first air releasing path (15), and has a horizontally long cross-section which orthogonally intersects with the air releasing direction and has a length longer in the width direction than that in the vertical direction; a third air releasing path (17) which is connected to the downstream end section of the second air releasing path (16) in the air releasing direction and extends in the direction perpendicular to the second air releasing path (16); a pump (18) which is connected to the downstream end section of the third air releasing path (17) in the air releasing direction and depressurizes inside a processing container (12); a pressure control valve (21) which is arranged inside the second air releasing path (16), is capable of shutting the second air releasing path (16), and has a pressure control valve plate (20) which controls pressure to the upstream and downstream in the air releasing direction; and a shut-off valve (23) which is arranged inside the third air releasing path (17) and has a shut-off valve plate (22) which opens/closes the third air releasing path (17).
(FR)La présente invention concerne un appareil de traitement par plasma (11) qui est doté : d’un premier trajet de libération d’air (15) s’étendant vers le bas à partir d’un orifice de libération d’air (13) ; d’un deuxième trajet de libération d’air (16) qui est connecté à la section extrémité aval du premier trajet de libération d’air (15) dans la direction de libération d’air, qui s’étend dans la direction perpendiculaire au premier trajet de libération d’air (15) et qui présente une coupe transversale longue horizontalement qui coupe orthogonalement la direction de libération d’air et présente une longueur plus grande dans la direction de la largeur que dans la direction verticale ; d’un troisième trajet de libération d’air (17) qui est connecté à la section extrémité aval du deuxième trajet de libération d’air (16) dans la direction de libération d’air et qui s’étend dans la direction perpendiculaire au deuxième trajet de libération d’air (16) ; d’une pompe (18) qui est connectée à la section extrémité aval du troisième trajet de libération d’air (17) dans la direction de libération d’air et se dépressurise dans un récipient de traitement (12) ; d’une soupape régulatrice de pression (21) qui est disposée à l’intérieur du deuxième trajet de libération d’air (16), est capable de fermer le deuxième trajet de libération d’air (16) et comporte une plaque de soupape de régulation de pression (20) qui commande la pression en amont et en aval dans la direction de libération d’air ; et d’une vanne d’arrêt (23) qui est disposée à l’intérieur du troisième trajet de libération d’air (17) et comporte une plaque de valve d’arrêt (22) qui ouvre/ferme le troisième trajet de libération d’air (17).
(JA) プラズマ処理装置11は、排気孔13から下方側に延びる第一の排気路15と、第一の排気路15の排気方向の下流側端部に接続されており、第一の排気路15と垂直な方向に延び、排気方向に対して直交する断面において上下方向よりも幅方向が長い横長断面形状である第二の排気路16と、第二の排気路16の排気方向の下流側端部に接続されており、第二の排気路16と垂直な方向に延びる第三の排気路17と、第三の排気路17の排気方向の下流側端部に接続されており、処理容器12内を減圧するポンプ18と、第二の排気路16内に設けられており、第二の排気路16を閉鎖可能であって、排気方向の上流側と下流側との圧力を調整する圧力調整用バルブプレート20を有する圧力調整バルブ21と、第三の排気路17内に設けられており、第三の排気路17の開閉を行なうシャットオフバルブプレート22を有するシャットオフバルブ23とを備える。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)