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1. (WO2010023841) LASER APPARATUS, PHOTOTHERAPEUTIC APPARATUS, EXPOSURE APPARATUS, DEVICE MANUFACTURING METHOD AND APPARATUS FOR INSPECTING SUBJECT TO BE INSPECTED
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/023841    International Application No.:    PCT/JP2009/003916
Publication Date: 04.03.2010 International Filing Date: 18.08.2009
IPC:
H01S 3/10 (2006.01), A61B 18/20 (2006.01), A61F 9/007 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01)
Applicants: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 12-1, Yurakucho 1-Chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (For All Designated States Except US).
TAKADA, Yasutoshi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
TOKUHISA, Akira [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: TAKADA, Yasutoshi; (JP).
TOKUHISA, Akira; (JP)
Agent: OHNISHI, Shogo; S.OHNISHI & ASSOCIATES, HIGASHI-IKEBUKURO SS BUILDING 1F, 3-20-3, Higashi-Ikebukuro, Toshima-ku, Tokyo 1700013 (JP)
Priority Data:
2008-217317 26.08.2008 JP
Title (EN) LASER APPARATUS, PHOTOTHERAPEUTIC APPARATUS, EXPOSURE APPARATUS, DEVICE MANUFACTURING METHOD AND APPARATUS FOR INSPECTING SUBJECT TO BE INSPECTED
(FR) APPAREIL LASER, APPAREIL PHOTOTHÉRAPEUTIQUE, APPAREIL D'EXPOSITION, DISPOSITIF, PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF ET APPAREIL D'INSPECTION D'UN SUJET À INSPECTER
(JA) レーザ装置、光治療装置、露光装置、デバイス製造方法、及び被検物検査装置
Abstract: front page image
(EN)Possibilities of generating fiber fusion are further reduced. A laser apparatus (1) has an excitation light source, and a light amplifying section which amplifies light by receiving excitation light outputted from the excitation light source through optical fibers (4A, 4B, 4C). A monitor section monitors the power level of excitation light transmitted to the light amplifying section from the excitation light source through the optical fibers (4A, 4B, 4C). In the case where the power level monitored by the monitor section is higher than a predetermined value when excitation light at the predetermined power level is being outputted from the excitation light source after making the excitation light source output excitation light at the predetermined power level when the excitation light source started outputting excitation light, a control section controls the excitation light source to output excitation light at a power level higher than the predetermined power level. In the case where the power level monitored by the monitor section is the prescribed value or lower when excitation light at the predetermined power level is being outputted from the excitation light source, the control section controls to stop excitation light output.
(FR)L'invention permet de mieux réduire les possibilités de génération d'une fusion des fibres. Un appareil laser (1) comprend une source de lumière d'excitation, et une section d'amplification de lumière qui amplifie la lumière en recevant la lumière d'excitation émise par la source de lumière d'excitation à travers des fibres optiques (4A, 4B, 4C). Une section de contrôle permet de contrôler le niveau de puissance de la lumière d'excitation transmise à la section d'amplification de lumière depuis la source de lumière d'excitation et à travers les fibres optiques (4A, 4B, 4C). Dans le cas où le niveau de puissance contrôlé par la section de contrôle est supérieur à une valeur prédéterminée lorsque la lumière d'excitation au niveau de puissance prédéterminé est émise de la source de lumière d'excitation après avoir amené la source de lumière d'excitation à émettre une lumière d'excitation au niveau de puissance prédéterminé lorsque la source de lumière d'excitation a commencé à émettre la lumière d'excitation, une section de commande commande la source de lumière d'excitation de sorte qu'elle émette une lumière d'excitation à un niveau de puissance plus élevé que le niveau de puissance prédéterminé. Dans le cas où le niveau de puissance contrôlé par la section de contrôle est égal à la valeur prescrite ou inférieur à celle-ci lorsque la lumière d'excitation au niveau de puissance prédéterminé est émise par la source de lumière d'excitation, la section de commande interrompt l'émission de lumière d'excitation.
(JA) Fiber fusionが発生する可能性をより一層低減する。 レーザ装置(1)は、励起光源と、光ファイバ(4A,4B,4C)を介して励起光源から出力される励起光を受けて光増幅を行う光増幅部とを有する。モニタ部は、励起光源から光ファイバ(4A,4B,4C)を介して光増幅部側に伝送されてきた励起光のパワーレベルをモニタする。制御部は、励起光源の励起光出力開始当初において励起光源に所定パワーレベルの励起光を出力させた後に、励起光源から所定パワーレベルの励起光が出力されている際にモニタ部によりモニタされたパワーレベルが所定値よりも高い場合に、所定パワーレベルよりも高いパワーレベルの励起光を出力させる一方、励起光源から所定パワーレベルの励起光が出力されている際にモニタ部によりモニタされたパワーレベルが所定値以下である場合に、励起光の出力を停止させる。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)