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1. (WO2010023741) PIEZOELECTRIC VIBRATING REED MANUFACTURING METHOD, PIEZOELECTRIC VIBRATOR, OSCILLATOR, ELECTRONIC APPARATUS, AND RADIO-CONTROLLED CLOCK
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/023741    International Application No.:    PCT/JP2008/065369
Publication Date: 04.03.2010 International Filing Date: 28.08.2008
IPC:
H03H 3/02 (2006.01), H03H 9/19 (2006.01), H03H 9/215 (2006.01)
Applicants: SEIKO INSTRUMENTS INC. [JP/JP]; 8, Nakase 1-chome, Mihama-ku, Chiba-shi Chiba 2618507 (JP) (For All Designated States Except US).
MINEGISHI, Takashi [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: MINEGISHI, Takashi; (JP)
Agent: MATSUSHITA, Yoshiharu; AIOS Hiroo Building 807 11-2 Hiroo 1-chome Shibuya-ku, Tokyo 150-0012 (JP)
Priority Data:
Title (EN) PIEZOELECTRIC VIBRATING REED MANUFACTURING METHOD, PIEZOELECTRIC VIBRATOR, OSCILLATOR, ELECTRONIC APPARATUS, AND RADIO-CONTROLLED CLOCK
(FR) PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN APPAREIL PIÉZOÉLECTRIQUE À LAMES VIBRANTES, VIBREUR PIÉZOÉLECTRIQUE, OSCILLATEUR, APPAREIL ÉLECTRONIQUE, ET HORLOGE RADIOCOMMANDÉE
(JA) 圧電振動片の製造方法、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計
Abstract: front page image
(EN)A piezoelectric vibrating reed manufacturing method for manufacturing from a wafer a piezoelectric vibrating reed comprising a pair of vibrating arm portions disposed parallel to each other, a base portion for integrally fixing base end sides of the pair of vibrating arm portions, and groove portions respectively formed in both surfaces of the pair of vibrating arm portions along the longitudinal direction of the vibrating arm portions. The piezoelectric vibrating reed manufacturing method comprises a protective film forming step of forming a protective film in the region other than positions corresponding to the groove portions in the wafer, and a groove portion forming step of forming the groove portions by dry-etching the wafer with the protective film as a mask. In the protective film forming step, a first protective film forming step of forming the protective film with a predetermined thickness on a first surface of the wafer and a second protective film forming step of forming the protective film with a predetermined thickness on a second surface of the wafer are alternately performed a plurality of times.
(FR)La présente invention concerne un procédé de fabrication d'un appareil piézoélectrique à lames vibrantes qui permet de fabriquer un appareil piézoélectrique à lames vibrantes à partir d'une tranche. L'appareil piézoélectrique à lames vibrantes comprend une paire de parties de bras vibrantes qui sont agencées parallèlement l'une à l'autre, une partie de base adaptée pour fixer intégralement des côtés d'extrémité de base de la paire de parties de bras vibrantes, et des parties de rainure qui sont réalisées respectivement dans les deux surfaces de la paire de parties de bras vibrantes, dans le sens longitudinal des parties de bras vibrantes. Le procédé de fabrication d'un appareil piézoélectrique à lames vibrantes comprend une étape de réalisation de pellicule protectrice consistant à réaliser une pellicule protectrice dans la région, en d'autres endroits qu'aux positions correspondant aux parties de rainure de la tranche, et une étape de réalisation de parties de rainure consistant à réaliser les parties de rainure par gravure sèche de la tranche en utilisant la pellicule protectrice comme masque. Dans l'étape de réalisation de pellicule protectrice, une première étape de réalisation de pellicule protectrice consistant à réaliser la pellicule protectrice en lui donnant une épaisseur prédéterminée sur une première surface de la tranche, et une seconde étape de réalisation de pellicule protectrice consistant à réaliser la pellicule protectrice en lui donnant une épaisseur prédéterminée sur une seconde surface de la tranche, sont exécutées alternativement plusieurs fois.
(JA) 本発明の圧電振動片の製造方法は、平行に配置された一対の振動腕部と、前記一対の振動腕部の基端側を一体的に固定する基部と、前記一対の振動腕部の両面に振動腕部の長手方向に沿ってそれぞれ形成された溝部と、を備えた圧電振動片をウエハから製造する圧電振動片の製造方法において、前記ウエハにおける前記溝部に対応する位置以外の領域に保護膜を形成する保護膜形成工程と、前記保護膜をマスクとして前記ウエハに対してドライエッチングを行うことにより前記溝部を形成する溝部形成工程と、を有し、前記保護膜形成工程では、前記ウエハの第一面に対して所定厚さの前記保護膜を形成する第一保護膜形成工程と、前記ウエハの第二面に対して所定厚さの前記保護膜を形成する第二保護膜形成工程とを、交互に複数回行う。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)