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1. (WO2010023221) COATING SYSTEM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/023221    International Application No.:    PCT/EP2009/060994
Publication Date: 04.03.2010 International Filing Date: 26.08.2009
IPC:
H01L 21/677 (2006.01)
Applicants: SINGULUS TECHNOLOGIES AG [DE/DE]; Hanauer Landstr. 103 63796 Kahl am Main (DE) (For All Designated States Except US).
HUBER, Marco [DE/DE]; (DE) (For US Only).
BECKER, Wolfgang [DE/DE]; (DE) (For US Only).
BINKOWSKA, Patrick [DE/DE]; (DE) (For US Only).
CORD, Bernhard [DE/DE]; (DE) (For US Only).
HOHN, Oliver [DE/DE]; (DE) (For US Only).
KEMPF, Stefan [DE/DE]; (DE) (For US Only).
REISING, Michael [DE/DE]; (DE) (For US Only).
ROOS, Björn [DE/DE]; (DE) (For US Only).
RÜTH, Edgar [DE/DE]; (DE) (For US Only).
SICHMANN, Eggo [DE/DE]; (DE) (For US Only).
WOHLFART, Peter [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: HUBER, Marco; (DE).
BECKER, Wolfgang; (DE).
BINKOWSKA, Patrick; (DE).
CORD, Bernhard; (DE).
HOHN, Oliver; (DE).
KEMPF, Stefan; (DE).
REISING, Michael; (DE).
ROOS, Björn; (DE).
RÜTH, Edgar; (DE).
SICHMANN, Eggo; (DE).
WOHLFART, Peter; (DE)
Agent: VOSSIUS & PARTNER; Siebertstrasse 4 81675 München (DE)
Priority Data:
10 2008 045 249.1 01.09.2008 DE
10 2009 018 700.6 23.04.2009 DE
Title (DE) BESCHICHTUNGSANLAGE
(EN) COATING SYSTEM
(FR) INSTALLATION DE REVÊTEMENT
Abstract: front page image
(DE)Durch die Erfindung wird eine Beschichtungsanlage zum Beschichten von Substraten im Takt-Betrieb bereitgestellt. Die Prozessstationen der Beschichtungsanlage sind kreisförmig angeordnet. Eine Handhabung zum Überfuhren der Substrate zwischen den Prozessstationen wird bereitgestellt. Die Prozessstationen weisen eine Schleuse zum Be- bzw. Entladen der Substrate, mindestens zwei Beschichtungskammern jeweils mit einer Plasmaquelle zum stationären Beschichten der Substrate und vorzugsweise eine Heizstation auf.
(EN)The invention provides a coating system for coating substrates in cyclical operation. The process stations of the coating system are disposed in a circular fashion. A handling mechanism is provided for transferring the substrate between the process stations. The process stations comprise a lock for loading and unloading the substrate, at least two coating chambers, each of which comprises a plasma source for stationary coating of the substrate, and preferably a heating station.
(FR)L'invention concerne une installation de revêtement destinée au revêtement de substrats en fonctionnement cadencé. Les stations de traitement de l'installation de revêtement sont disposées en cercle. Une fonction de manipulation destinée à transférer les substrats entre les stations de traitement est prévue. Les stations de traitement possèdent un sas pour le chargement ou le déchargement des substrats, au moins deux chambres de revêtement ayant chacune une source de plasma pour le revêtement statique des substrats et, de préférence, une station de chauffage.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)