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1. (WO2010023006) METHOD FOR PRODUCING PRESSURE SENSOR ELEMENTS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/023006    International Application No.:    PCT/EP2009/058518
Publication Date: 04.03.2010 International Filing Date: 06.07.2009
IPC:
G01L 9/00 (2006.01)
Applicants: ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart (DE) (For All Designated States Except US).
KLOPF, Frank [DE/DE]; (DE) (For US Only).
STOETZLER, Arno [DE/DE]; (DE) (For US Only).
HENNING, Frank [DE/DE]; (DE) (For US Only).
SCHARPING, Armin [DE/DE]; (DE) (For US Only).
KOBER, Juergen [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: KLOPF, Frank; (DE).
STOETZLER, Arno; (DE).
HENNING, Frank; (DE).
SCHARPING, Armin; (DE).
KOBER, Juergen; (DE)
Common
Representative:
ROBERT BOSCH GMBH; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart (DE)
Priority Data:
10 2008 041 704.1 29.08.2008 DE
Title (DE) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON DRUCKSENSORELEMENTEN
(EN) METHOD FOR PRODUCING PRESSURE SENSOR ELEMENTS
(FR) PROCÉDÉ DE FABRICATION D’ÉLÉMENTS CAPTEURS DE PRESSION
Abstract: front page image
(DE)Es werden Maßnahmen vorgeschlagen, durch die ein unkontrolliertes flächiges Abplatzen der Isolationsschicht beim Vereinzeln von Drucksensorelementen vermieden wird, wobei diese Drucksensorelemente ausgehend von einem Metallträger (10) hergestellt werden, in dessen Rückseite Sacköffnungen (12) zum Freilegen von Sensormembranen (11) eingebracht werden und auf dessen Vorderseite eine Isolationsschicht (14) und eine resistive Dünnschicht aufgebracht werden, bevor die Drucksensorelemente vereinzelt werden. Erfindungsgemäß wird vorgeschlagen, entweder die Vorderseite des Metallträgers (10) vor dem Aufbringen der Isolationsschicht (14) entsprechend den Konturen der zu vereinzelnden Drucksensorelemente zu strukturieren oder die Isolationsschicht selbst entsprechend den Konturen der zu vereinzelnden Drucksensorelemente zu strukturieren.
(EN)The invention relates to methods for preventing uncontrolled flat flaking off of the insulation layer during dividing of pressure sensor elements, wherein said pressure sensor elements are made from a metal carrier (10). In the back side of said metal carrier, blind holes (12) for exposing sensor membranes (11) are made. On the front side, an insulation layer (14) and a resistive thin layer is applied before the pressure sensor elements are divided. According to the invention, either the front side of the metal carrier (10) is structured according to the contours of the pressure sensor elements to be divided or the insulation layer (14) itself is structured according to the contours of the pressure sensor elements to be divided.
(FR)L'invention concerne des mesures qui empêchent un éclatement de surface incontrôlé de la couche isolante lors de la séparation d'éléments capteurs de pression. Ces éléments capteurs de pression sont fabriqués en partant d'un support métallique (10) dans le côté arrière duquel des ouvertures borgnes (12) sont pratiquées pour mettre à nu des membranes de capteur (11) et sur le côté avant duquel une couche isolante (14) et une mince couche résistive sont appliquées avant que les éléments capteurs de pression soient séparés. Selon l'invention, il est proposé soit de structurer le côté avant du support métallique (10) avant l'application de la couche isolante (14) conformément aux contours des éléments capteurs de pression à séparer soit de structurer la couche isolante même conformément aux contours des éléments capteurs de pression à séparer.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)