WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2010022843) DEVICE AND METHOD FOR TRANSPORTING SUBSTRATES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/022843    International Application No.:    PCT/EP2009/005531
Publication Date: 04.03.2010 International Filing Date: 30.07.2009
IPC:
H01L 21/68 (2006.01)
Applicants: RENA GMBH [DE/DE]; Ob der Eck 5 78148 Gütenbach (DE) (For All Designated States Except US).
REUSTLE, Peter [DE/DE]; (DE) (For US Only).
GUTEKUNST, Mathias [DE/DE]; (DE) (For US Only).
LÜTKE NOTARP, Dietmar [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: REUSTLE, Peter; (DE).
GUTEKUNST, Mathias; (DE).
LÜTKE NOTARP, Dietmar; (DE)
Agent: STÜRKEN, Joachim; J. Stürken Patentanwaltsges. mbH, Kirchenhölzle 18, 79104 Freiburg (DE)
Priority Data:
10 2008 045 255.6 01.09.2008 DE
Title (DE) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM TRANSPORTIEREN VON SUBSTRATEN
(EN) DEVICE AND METHOD FOR TRANSPORTING SUBSTRATES
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE TRANSPORT DE SUBSTRATS
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft das Handhaben von Gut 1, insbesondere zum Transport von Wafern oder Solarzellen in Anlagen von einer Ablagestelle eines Nass- oder Trockenprozesses zur nächsten mittels einer Greifvorrichtung 3, mit mindestens einem Greifer 14, die sich an einem Handhabungsgerät befindet. Bei den bekannten Vakuumgreifern oder mechanischen Trägern besteht insbesondere beim Ergreifen und beim Ablegen des zu transportierenden Gutes zusätzlich die Gefahr des Wegschwimmens oder Verschiebens. Erfindungsgemäß wird dies durch Begrenzer 10 verhindert, die an der Kante 12 des Gutes 1 vor oder nach dem Ergreifen an der Abholposition mittels Positionieraktoren 8 positioniert werden. Die exakte Positionierung der Begrenzer 10 wird von Kantendetektoren 11 bestimmt, die sich in Kombination mit den Begrenzern an den Achsen 9 der Positionieraktoren 8 befinden. Die Begrenzer 10 werden erst nach dem Ablegen des Gutes in der Zielposition geöffnet. Zum korrekten Ablegen werden die beim Positionieren der Begrenzer 10 gemessenen Wegdaten der Positionieraktoren 8, d. h. die Stellungen der Begrenzer 10 vom Steuerungssystem der Anlage ausgewertet.
(EN)The invention relates to handling goods (1), particularly transporting wafers or solar cells in lines from one placement station of a wet or dry process to the next by means of a gripper device (3), having at least one gripper (14) located on a handling device. For known vacuum grippers or mechanical carriers, particularly when capturing and placing the goods to be transported, an additional risk of floating away or shifting occurs. According to the invention, said risk is prevented by limiters positioned at the edge (12) of the goods (1) by means of positioning actuators (8) before or after capturing at the pickup position. Exact positioning of the limiters (10) is determined by edge detectors (11) located at the axes (9) of the positioning actuators (8) in combination with the limiters. The limiters (10) are opened only after the goods are placed in the target position. The stroke data of the positioning actuators (8) measured when positioning the limiters (10), that is, the positions of the limiters (10), are evaluated by the control system of the line for correct placement.
(FR)L'invention concerne la manipulation de produits (1), notamment le transport de tranches de silicium ou de cellules solaires dans des installations, entre un emplacement récepteur d'un procédé par voie humide ou sèche et un autre emplacement, au moyen d'un dispositif de préhension (3) doté d'au moins un organe préhenseur (14) et monté sur un appareil de manipulation. Les préhenseurs à vide ou les supports mécaniques habituels comportent, notamment lors de la préhension ou de la pose du produit à transporter, le risque d'éloignement par flottement ou de déport. Selon l'invention, ce risque est réduit par des limiteurs (10) qui sont placés au bord (12) du produit (1) avant ou après la préhension, en position d'enlèvement, au moyen de positionneurs (8). Le positionnement exact des limiteurs (10) est déterminé par des capteurs de bords (11) qui sont situés, avec les limiteurs, sur les axes (9) des positionneurs (8). Les limiteurs (10) ne sont ouverts qu'après la pose du produit dans la position cible. Pour une pose correcte du produit, les données de distances des positionneurs (8) mesurées pendant le positionnement des limiteurs (10), donc les positions des limiteurs (10), sont analysées par le système de commande de l'installation.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)