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1. (WO2010022824) DEVICE AND METHOD FOR THE WET PROCESSING OF DIFFERENT SUBSTRATES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/022824    International Application No.:    PCT/EP2009/005299
Publication Date: 04.03.2010 International Filing Date: 21.07.2009
IPC:
H01L 21/00 (2006.01), H01L 21/60 (2006.01), C25D 7/12 (2006.01), C25D 17/02 (2006.01)
Applicants: RENA GMBH [DE/DE]; Ob der Eck 5 78148 Gütenbach (DE) (For All Designated States Except US).
REUSTLE, Peter [DE/DE]; (DE) (For US Only).
GUTEKUNST, Mathias [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: REUSTLE, Peter; (DE).
GUTEKUNST, Mathias; (DE)
Agent: STÜRKEN, Joachim; J. Stürken Patentanwaltsges. mbH Kirchenhölzle 18 79104 Freiburg (DE)
Priority Data:
10 2008 045 256.4 01.09.2008 DE
Title (DE) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR NASSBEHANDLUNG VON UNTERSCHIEDLICHEN SUBSTRATEN
(EN) DEVICE AND METHOD FOR THE WET PROCESSING OF DIFFERENT SUBSTRATES
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE TRAITEMENT PAR VOIE HUMIDE DE DIFFÉRENTS SUBSTRATS
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft die Nassbehandlung und das Galvanisieren einer Seite und/oder des Randes von flachem Gut (1) als Substrate in Produktionsanlagen mit Prozesskammern (4), die von der Behandlungsflüssigkeit (8) durchströmt werden und dabei das an der oberen Öffnung (3) der Prozesskammer (4) positionierte Gut (1) benetzen. Derartige Prozesskammern (4) sind nach dem Stand der Technik für ein Typ eines Gutes (1) mit nur einer ganz bestimmten Abmessung geeignet. Die in der Praxis erforderliche Flexibilität bezüglich unterschiedlich großer Güter (1) wird durch die vorliegende Erfindung erreicht. Hierzu wird die Prozesskammer (4) mindestens zweiteilig als ein Unterteil (5) und mindestens zwei als bevorzugt automatisch auswechselbare unterschiedliche Oberteile (6) ausgeführt. Die Trennstelle (7) beider Teile ist formschlüssig und automatisch lösbar ausgeführt. Gutspezifisch ausgerüstete Oberteile (6) werden zur Produktion der individuellen Güter (1) auf das fest installierte (Unterteil 5) aufgesetzt, wodurch die gesamte Prozesskammer (4) für die Produktion des dafür vorgesehenen Typs von Gut (1) optimal geeignet ist.
(EN)The invention relates to the wet processing and electroplating of one side and/or the edge of a flat product (1) used as a substrate in production systems containing process chambers (4), through which treatment liquid flows (8), wetting the product (1) that is positioned at the upper opening (3) of the process chamber (4). According to prior art, process chambers (4) of this type are suitable for one type of product (1) with particular dimensions. The invention provides the flexibility required in practice with respect to products (1) of different sizes. To achieve this, the process chamber (4) is designed in at least two parts with a lower part (5) and at least two upper parts (6) that can be preferably automatically interchanged. The separation point (7) of both parts is designed in a positive manner and can be automatically detached. Upper parts (6) that are adapted specifically to the product are placed on the fixed lower part (5) in order to produce the product, thus permitting the entire process chamber (4) to be optimised for the production of the designated type of product (1).
(FR)L'invention concerne le traitement par voie humide et la galvanisation d'une face et/ou d'un bord d'un produit (1) plat en tant que substrat dans des installations de production comportant des chambres de traitement (4) qui sont traversées par un liquide de traitement (8) et dans lesquelles le produit (1) placé à l'ouverture supérieure (3) de la chambre de traitement (4) est humidifié. Ce type de chambre de traitement (4), selon l'état de la technique actuelle, n'est adapté qu'à un type de produit (1) présentant des dimensions bien précises. L'invention vise à apporter la flexibilité nécessaire dans la pratique pour l'adaptation à des produits (1) de différentes dimensions. A cet effet, la chambre de traitement (4) est divisée en au moins deux zones, une partie inférieure (5) et au moins deux parties supérieures (6) différentes, interchangeables de préférence automatiquement, la partie séparatrice (7) de ces deux zones présentant une complémentarité de forme et étant de conception automatiquement libérable. Des parties supérieures (6) équipées spécifiquement pour des produits sont placées sur la partie inférieure (5) fixe pour la production de produits (1) individuels, rendant ainsi l'ensemble de la chambre de traitement (4) adaptée au mieux à la production du type de produit (1) prévu.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)