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1. (WO2010022823) DEVICE AND METHOD FOR HANDLING SUBSTRATES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2010/022823    International Application No.:    PCT/EP2009/005297
Publication Date: 04.03.2010 International Filing Date: 21.07.2009
IPC:
H01L 21/687 (2006.01)
Applicants: RENA GMBH [DE/DE]; Ob der Eck 5 78148 Gütenbach (DE) (For All Designated States Except US).
REUSTLE, Peter [DE/DE]; (DE) (For US Only).
GUTEKUNST, Mathias [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: REUSTLE, Peter; (DE).
GUTEKUNST, Mathias; (DE)
Agent: STÜRKEN, Joachim; J. Stürken Patentanwaltsges. mbH Kirchenhölzle 18 79104 Freiburg (DE)
Priority Data:
10 2008 045 257.2 01.09.2008 DE
Title (DE) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM HANDHABEN VON SUBSTRATEN
(EN) DEVICE AND METHOD FOR HANDLING SUBSTRATES
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE MANIPULATION DE SUBSTRATS
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft das Handhaben von Gut (1), insbesondere zum Transport in bevorzugt horizontaler oder geneigter Lage von bruchempfindlichen Substraten als Wafer oder Solarzellen in Produktionsanlagen von einem Nass- oder Trockenprozess zum nächsten mittels einer Greif Vorrichtung (3), die sich an einem Handhabungsgerät oder an einem Roboterarm befindet. Die Erfindung sieht eine Greifvorrichtung (3) vor, die zusätzlich mit Richtmitteln (8) ausgerüstet ist. Das Richten des zunächst in einer unbestimmten Lage befindlichen Gutes (1) geschieht durch Schließen der Richtmittel (8) in Richtung zum Gut. Anschläge (18) für die Richtmittel (8) bestimmen die vorbestimmte Richtlage des Gutes. Diese Lage steht in einem festen räumlichen Bezug zur Greifvorrichtung (3), wodurch diese Lage auch im übergeordneten Steuerungssystem der Anlage bekannt ist. Das Richten kann vor dem Abholen des Gutes von einer Ablage (2) erfolgen. Es kann auch während des Transportes zur Zielposition oder erst in dieser Zielposition erfolgen, dessen Koordinaten bzw. Position im Steuerungssystem der Produktionsanlage ebenfalls bekannt sind bzw. ist.
(EN)The invention relates to handling goods (1), particularly transporting fragile substrates as wafers or solar cells in a preferably horizontal or tilted orientation in production lines from one wet or dry process to the next, by means of a gripper device (3) located on a handling device or a robot arm. The invention proposes a gripper device (3) having additional aligning means (8). The goods (1), located at first in an indeterminate orientation, are aligned by closing the aligning means (8) in the direction toward the goods. Stops (18) for the aligning means (8) determine the predetermined alignment of the goods. Said alignment has a fixed spatial relationship to the gripper direction (3), whereby said alignment is also known in the superordinate control system of the line. The alignment can be done prior to picking up the goods from a storage location (2). It can also take place during transport to the target position or after said target position is reached, the coordinates and position thereof in the control system of the production line also being known.
(FR)L'invention concerne la manipulation d'un produit (1), notamment le transport, de préférence en position horizontale ou inclinée, de substrats fragiles sous forme de tranches de silicium ou de cellules solaires, dans des installations de fabrication, entre un traitement par voie humide ou sèche et un autre traitement, au moyen d'un dispositif de préhension (3) qui se trouve sur un appareil de manipulation ou sur un bras de robot. L'invention concerne un dispositif de préhension (3) équipé en outre de moyens d'orientation (8). L'orientation du produit (1), qui se trouve d'abord dans une position non définie, est réalisée par la fermeture des moyens d'orientation (8) en direction du produit. Des butées (18) des moyens d'orientation (8) déterminent la position prédéfinie du produit. Cette position est dans un rapport spatial fixe avec le dispositif de préhension (3), cette position étant ainsi également connue du système de commande supérieur de l'installation. L'orientation peut avoir lieu avant l'enlèvement du produit d'un emplacement récepteur (2), mais elle peut aussi avoir lieu pendant le transport vers la position cible ou bien seulement dans cette position cible, dont les coordonnées et la position sont également connues du système de commande de l'installation de production.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)