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1. WO2010000413 - SGFET GAS SENSOR

Publication Number WO/2010/000413
Publication Date 07.01.2010
International Application No. PCT/EP2009/004577
International Filing Date 25.06.2009
Chapter 2 Demand Filed 02.02.2010
IPC
G01N 27/00 2006.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
27Investigating or analysing materials by the use of electric, electro-chemical, or magnetic means
G01N 27/414 2006.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
27Investigating or analysing materials by the use of electric, electro-chemical, or magnetic means
26by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
403Cells and electrode assemblies
414Ion-sensitive or chemical field-effect transistors, i.e. ISFETS or CHEMFETS
CPC
G01N 27/4143
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
27Investigating or analysing materials by the use of electric, electro-chemical, or magnetic means
26by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
403Cells and electrode assemblies
414Ion-sensitive or chemical field-effect transistors, i.e. ISFETS or CHEMFETS
4141specially adapted for gases
4143Air gap between gate and channel, i.e. suspended gate [SG] FETs
Applicants
  • MICRONAS GMBH [DE]/[DE] (AllExceptUS)
  • SENFT, Christoph [DE]/[DE] (UsOnly)
Inventors
  • SENFT, Christoph
Agents
  • KOCH MÜLLER PATENANWALTTSGESELLSCHAFT MBH
Priority Data
08011919.102.07.2008EP
Publication Language German (DE)
Filing Language German (DE)
Designated States
Title
(DE) SGFET-GASSENSOR
(EN) SGFET GAS SENSOR
(FR) DÉTECTEUR DE GAZ À TRANSISTOR À EFFET DE CHAMP À GRILLE SUSPENDUE
Abstract
(DE)
Ein Gassensor (1) weist mindestens eine gassensitive, elektrisch leitfahige Schicht (7) auf, die einen mit dem Zielgas in Kontakt bringbaren Oberflächenbereich (9) hat, in dem die Austrittsarbeit von der Konzentration des damit in Kontakt stehenden Zielgases abhängig ist. Zumindest ein elektrischer Potentialsensor ist über einen Luftspalt (8) kapazitiv an den Oberflächenbereich (9) gekoppelt. Der Oberflächenbereich (9) ist durch mindestens eine Aussparung strukturiert, in der ein elektrisch leitend mit der gassensitiven Schicht (7) verbundenes flächiges Werkstoffelement (18) angeordnet ist, dessen Werkstoff sich von dem der gassensitiven Schicht (7) unterscheidet und ein Metall und/oder eine ein Metall enthalte chemische Verbindung umfdsst.
(EN)
A gas sensor (1) has at least one gas-sensitive electrically conductive layer (7) having a surface region (9) which can be brought into contact with the target gas and in which the work function depends on the concentration of the target gas in contact therewith. At least one electrical potential sensor is capacitively coupled to the surface region (9) via an air gap (8). The surface region (9) is structured by means of at least one recess in which a flat material element (18) which is connected to the gas-sensitive layer (7) in an electrically conductive manner is arranged, the material of said material element differing from that of the gas-sensitive layer (7) and comprising a metal and/or a metal-containing chemical compound.
(FR)
L'invention concerne un détecteur de gaz (1) possédant au moins une couche électriquement conductrice sensible au gaz (7) qui possède une zone superficielle (9) pouvant être mise en contact avec le gaz recherché, le travail d'extraction dépendant de la concentration du gaz recherché en contact avec celle-ci. Au moins un détecteur de potentiel électrique est couplé capacitivement avec la zone superficielle (9) par l'intermédiaire d'un entrefer (8). La zone superficielle (9) est structurée avec au moins un évidement qui est disposé dans un élément de matériau plan (18) qui est relié de manière électriquement conductrice avec la couche sensible au gaz (7), dont le matériau diffère de celui de la couche sensible au gaz (7) et contient un métal et/ou un composé chimique contenant un métal.
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