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1. (WO2009143482) NEGATIVE TONE MOLECULAR GLASS RESISTS AND METHODS OF MAKING AND USING SAME
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2009/143482    International Application No.:    PCT/US2009/045069
Publication Date: 26.11.2009 International Filing Date: 22.05.2009
IPC:
G03C 1/00 (2006.01), G03F 7/004 (2006.01)
Applicants: GEORGIA TECH RESEARCH CORPORATION [US/US]; 505 Tenth Street, N.W. Atlanta, GA 30332-0415 (US) (For All Designated States Except US).
LAWSON, Richard, A. [US/US]; (US) (For US Only).
HENDERSON, Clifford, L. [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: LAWSON, Richard, A.; (US).
HENDERSON, Clifford, L.; (US)
Agent: SCHNEIDER, Ryan; Troutman Sanders LLP Bank Of America Plaza, Suite 5200 600 Peachtree Street, N.E. Atlanta, GA 30308-2216 (US)
Priority Data:
61/055,302 22.05.2008 US
Title (EN) NEGATIVE TONE MOLECULAR GLASS RESISTS AND METHODS OF MAKING AND USING SAME
(FR) RÉSERVES DE VERRE MOLÉCULAIRE À TON NÉGATIF ET PROCÉDÉ DE PRÉPARATION ET D'UTILISATION DE CELLES-CI
Abstract: front page image
(EN)The various embodiments of the present disclosure relate generally to resists and, more particularly, to negative tone molecular glass resists, and their associated methods of fabrication and use. In one embodiment of the present invention, a negative tone molecular glass-based resist comprises: a molecular glass, comprising, a molecular glass core, wherein the molecular glass core is not a polymer chain, and a functional group bound to the molecular glass core and configured to provide a decrease in solubility of the molecular glass; and an initiating component configured to produce a reactive species upon exposure to radiation, wherein the reactive species facilitates the decrease in solubility of the molecular glass.
(FR)L'invention concerne de façon générale des réserves et, plus particulièrement, des réserves de verre moléculaire à ton négatif, et leurs procédés de fabrication et d'utilisation associés. Dans un mode de réalisation de la présente invention, une réserve à base de verre moléculaire à ton négatif comprend : un verre moléculaire, comprenant un cœur de verre moléculaire, le cœur de verre moléculaire n'étant pas une chaîne de polymère, et un groupe fonctionnel lié au cœur de verre moléculaire et configuré pour assurer une diminution de solubilité du verre moléculaire; et un composant d'initiation configuré pour produire une espèce réactive lors d'une exposition à un rayonnement, l'espèce réactive facilitant la diminution de solubilité du verre moléculaire.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)