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Pub. No.:    WO/2009/142710    International Application No.:    PCT/US2009/003015
Publication Date: 26.11.2009 International Filing Date: 15.05.2009
H01L 21/683 (2006.01), H01L 21/687 (2006.01), H02N 13/00 (2006.01)
Applicants: ENTEGRIS, INC. [US/US]; 129 Concord Road Building 2 Billerica, MA 01821 (US) (For All Designated States Except US).
COOKE, Richard, A. [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: COOKE, Richard, A.; (US)
Agent: CARROLL, Alice, O.; Hamilton, Brook, Smith & Reynolds, P.C. 530 Virginia Road, P.O. Box 9133 Concord, MA 01742-9133 (US)
Priority Data:
61/094,700 05.09.2008 US
61/054,259 19.05.2008 US
Abstract: front page image
(EN)In accordance with an embodiment of the invention, there is provided an electrostatic chuck comprising an electrode, and a surface layer activated by a voltage in the electrode to form an electric charge to electrostatically clamp a substrate to the electrostatic chuck. The surface layer includes a plurality of protrusions extending to a height above portions of the surface layer surrounding the protrusions to support the substrate upon the protrusions during electrostatic clamping of the substrate. The protrusions are substantially equally spaced across the surface layer as measured by a center to center distance between pairs of neighboring protrusions.
(FR)La présente invention concerne, selon un mode de réalisation, un mandrin électrostatique qui comprend une électrode, et une couche de surface activée par une tension dans l'électrode pour former une charge électrique pour serrer de façon électrostatique un substrat sur le mandrin électrostatique. La couche de surface comprend une pluralité de protubérances qui s'étendent jusqu'à une hauteur au-dessus de parties de la couche de surface entourant les protubérances pour supporter le substrat sur les protubérances durant le serrage électrostatique du substrat. Les protubérances sont espacées de façon sensiblement égale sur la couche de surface lorsqu'elles sont mesurées selon une distance de centre à centre entre des paires de protubérances voisines.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)