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1. (WO2009142147) METHOD FOR MANUFACTURING FILM BODY, AND FILM FORMING APPARATUS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2009/142147    International Application No.:    PCT/JP2009/059030
Publication Date: 26.11.2009 International Filing Date: 15.05.2009
IPC:
C23C 24/04 (2006.01)
Applicants: TOYOTA JIDOSHA KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 1, Toyota-cho, Toyota-shi, Aichi 4718571 (JP) (For All Designated States Except US).
KAWAOKA Hirokazu [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: KAWAOKA Hirokazu; (JP)
Agent: COSMOS PATENT OFFICE; Annex 2nd Floor, Nagoya Center Building, 2-22, Nishiki 2-chome, Naka-ku, Nagoya-shi, Aichi 4600003 (JP)
Priority Data:
2008-135827 23.05.2008 JP
Title (EN) METHOD FOR MANUFACTURING FILM BODY, AND FILM FORMING APPARATUS
(FR) PROCÉDÉ DE FABRICATION D’UN CORPS AVEC FILM ET APPAREIL DE FORMATION DE FILM
(JA) 成膜体の製造方法及び成膜装置
Abstract: front page image
(EN)Provided is a method for forming a film body (1) which has a base body (20) and a film (10) formed on a film forming surface (21) of the base body by an aerosol deposition method.  In the method, at least a first aerosol (AS1) wherein first fine particles (D1) are dispersed in a first transfer gas (G1), and a second aerosol (AS2) wherein second fine particles (D2) are dispersed in a second transfer gas (G2) are jetted at the same time toward the film forming surface of the base body, and the film is formed.
(FR)L'invention concerne un procédé visant à former un corps (1) avec film, doté d’un corps (20) de base et d’un film (10) formé sur une surface (21) de formation de film du corps de base par un procédé de dépôt d’aérosol. Dans le procédé selon l’invention, au moins un premier aérosol (AS1) où des premières particules fines (D1) sont dispersées dans un premier gaz (G1) de transfert, et un deuxième aérosol (AS2) où des deuxièmes particules fines (D2) sont dispersées dans un deuxième gaz (G2) de transfert, sont projetés en même temps en direction de la surface de formation de film du corps de base, formant ainsi le film.
(JA)基体(20)と、エアロゾルデポジション法により基体の成膜面(21)に形成された被膜(10)と、を備える成膜体(1)の製造方法は、少なくとも第1微粒子(D1)を第1搬送ガス(G1)中に分散させた第1エアロゾル(AS1)と、第2微粒子(D2)を第2搬送ガス(G2)中に分散させた第2エアロゾル(AS2)とを、基体の成膜面に向けて同時に噴射して、被膜を形成する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)