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1. (WO2009141750) IMPROVED MEMS RESONATOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2009/141750    International Application No.:    PCT/IB2009/051904
Publication Date: 26.11.2009 International Filing Date: 08.05.2009
IPC:
H03H 9/24 (2006.01), H03H 9/02 (2006.01)
Applicants: NXP B.V. [NL/NL]; High Tech Campus 60 NL-5656 AG Eindhoven (NL) (For All Designated States Except US).
STEENEKEN, Peter, G. [NL/NL]; (GB) (For US Only)
Inventors: STEENEKEN, Peter, G.; (GB)
Agent: WILLIAMSON, Paul, L.; (GB)
Priority Data:
08104020.6 19.05.2008 EP
Title (EN) IMPROVED MEMS RESONATOR
(FR) RÉSONATEUR MEMS AMÉLIORÉ
Abstract: front page image
(EN)A micro-electromechanical resonator comprising a material having anisotropic directional elasticity characteristics. A shape of the resonator is such that a first distance in a first direction from a centroid of the resonator to a first point on a peripheral edge of the resonator is greater than a second distance in a second direction from the centroid to a second different point on the edge. This is true for every first direction and every second direction wherein the material has a lesser modulus of elasticity in the first direction than the second direction.
(FR)Résonateur microélectromécanique, comprenant un matériau présentant des caractéristiques d’élasticité directionnelle anisotrope. Le résonateur possède une forme telle qu’une première distance dans une première direction allant d’un centroïde du résonateur à un premier point sur le bord périphérique du résonateur est supérieure à une seconde distance dans une seconde direction allant du centroïde à un second point différent sur le bord. Ceci est vérifié pour chaque première direction et chaque seconde direction, le module d’élasticité du matériau étant plus petit dans la première direction que dans la seconde direction.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)