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1. (WO2009141623) VACUUM CHAMBER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2009/141623    International Application No.:    PCT/GB2009/001289
Publication Date: 26.11.2009 International Filing Date: 21.05.2009
B01J 3/03 (2006.01)
Applicants: TESLA ENGINEERING LTD. [GB/GB]; Water Lane Storrington West Sussex RH20 3EA (GB) (For All Designated States Except US).
BEGG, Michael, Colin [GB/GB]; (GB) (For US Only).
RAMAGE, James, Cumming [GB/GB]; (GB) (For US Only)
Inventors: BEGG, Michael, Colin; (GB).
RAMAGE, James, Cumming; (GB)
Agent: DEHNS; St. Bride's House 10 Salisbury Square London EC4Y 8JD (GB)
Priority Data:
0809475.7 23.05.2008 GB
12/126,408 23.05.2008 US
Abstract: front page image
(EN)A vacuum chamber (2) has walls having an inner layer (20) of a gas impermeable electrically non-conductive material and an outer layer (22) of a different electrically non-conducting material. The inner layer (20) is a polymeric film layer of Kapton® polyimide. The outer layer (22) is a composite material which includes reinforcing carbon or glass fibers bound in a matrix of epoxy resin. The vacuum chamber has end flanges for attaching it to adjacent parts of a vacuum system. The vacuum chamber is made by placing a sheet of Kapton® material around a mould and sealing its ends together. The composite material is then wound onto the inner layer in its wet form to provide the outer layer. The outer layer material is then cured to dry the epoxy resin, binding the layer to the inner layer, and the multi-layer structure removed from the mould. The vacuum chamber is particularly suitable for use in an ion implantation system in the presence of a time varying magnetic field.
(FR)Une chambre à vide (2) comporte des parois comportant une couche interne (20) formée d'un matériau non électroconducteur imperméable aux gaz et une couche externe (22) formée d'un matériau non électroconducteur différent. La couche interne (20) est une couche de film polymère de polyimide Kapton®. La couche externe (22) est un matériau composite qui comprend des fibres de carbone ou de verre de renforcement liées dans une matrice de résine époxy. La chambre à vide comporte des brides d'extrémité permettant de la fixer à des parties adjacentes d'un système de vide. La chambre à vide est réalisée par la mise en place d'une feuille de matériau Kapton® autour d'un moule et par le scellement de ses extrémités ensemble. Le matériau composite est ensuite enroulé sur la couche interne sous sa forme humide pour former la couche externe. Le matériau de couche externe est ensuite cuit pour sécher la résine époxy, liant ainsi la couche à la couche interne, et la structure multicouche est retirée du moule. La chambre à vide est particulièrement appropriée pour être utilisée dans un système d'implantation ionique en présence d'un champ magnétique variant dans le temps.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)