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1. (WO2009140533) MEASURING THE SHAPE AND THICKNESS VARIATION OF A WAFER WITH HIGH SLOPES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2009/140533    International Application No.:    PCT/US2009/044007
Publication Date: 19.11.2009 International Filing Date: 14.05.2009
IPC:
G01B 11/24 (2006.01), G01B 11/06 (2006.01), G01B 9/02 (2006.01)
Applicants: KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; Kla-tencor Corporation Legal Department One Technology Drive Milpitas, CA 95035 (US) (For All Designated States Except US).
TANG, Shouhong [US/US]; (US) (For US Only).
SAPPEY, Romain [FR/US]; (US) (For US Only)
Inventors: TANG, Shouhong; (US).
SAPPEY, Romain; (US)
Agent: MCANDREWS, Kevin; (US)
Priority Data:
12/121,250 15.05.2008 US
Title (EN) MEASURING THE SHAPE AND THICKNESS VARIATION OF A WAFER WITH HIGH SLOPES
(FR) MESURE DE LA FORME ET DES VARIATIONS D’ÉPAISSEUR D’UNE TRANCHE PRÉSENTANT DES PENTES ÉLEVÉES
Abstract: front page image
(EN)In one embodiment, an interferometer system comprises two unequal path interferometers assembly to vary a wavelength of the collimated radiation beam, record interferograms formed by a plurality of surfaces, extract phases of each of the interferograms for each of the plurality of surfaces to produce multiple phase maps, determine each map from its corresponding interferogram, determine from each map local areas of interest with high slopes, tilt the wafer holder to allow measurement of the high slope areas of interest, and process measurement that covers the entire surface of an object including high slope areas.
(FR)Dans un mode de réalisation, l’invention concerne un système d’interféromètre renfermant deux ensembles interféromètres à chemin inégal permettant de faire varier une longueur d’ondes d’un faisceau de rayonnement collimaté, d’enregistrer les interférogrammes formés par une pluralité de surfaces, d’extraire des phases de chacun des interférogrammes pour chaque surface de la pluralité de surfaces afin d’obtenir plusieurs cartes de phase, de déterminer chaque carte à partir de l’interférogramme correspondant à ladite carte, de déterminer à partir de chaque carte des zones d’intérêt locales présentant des pentes élevées, d’incliner le support de tranche pour permettre la mesure des zones d’intérêt présentant des pentes élevées, et de procéder à la mesure de la surface entière d’un objet, y compris les zones présentant des pentes élevées. DRAWING: FIG. 1: 110  ILLUMINATEUR
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)