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1. (WO2009139394) OPTICAL INSPECTION DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2009/139394    International Application No.:    PCT/JP2009/058861
Publication Date: 19.11.2009 International Filing Date: 12.05.2009
IPC:
G01N 21/956 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01)
Applicants: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 12-1, Yurakucho 1-chome Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (For All Designated States Except US).
YOSHIKAWA, Toru [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: YOSHIKAWA, Toru; (JP)
Agent: OHNISHI, Shogo; S.OHNISHI & ASSOCIATES, HIGASHI-IKEBUKURO SS BUILDING 1F, 3-20-3, Higashi-Ikebukuro, Toshima-ku, Tokyo 1700013 (JP)
Priority Data:
2008-126011 13.05.2008 JP
2008-230526 09.09.2008 JP
Title (EN) OPTICAL INSPECTION DEVICE
(FR) DISPOSITIF D’INSPECTION OPTIQUE
(JA) 光学検査装置
Abstract: front page image
(EN)An optical inspection device (1) includes: an illumination optical system (10) for applying an illumination light onto a surface of a wafer (W); an observation optical system (20) for observing the surface of the wafer (W); an imaging unit (30) which detects luminance on a pupil surface of the observation optical system (20); and a luminance distribution calculation unit (40) which obtains a luminance distribution while two-dimensionally moving a portion to be observed, calculates a base luminance distribution corresponding to the changing component in a smooth luminance distribution from the imaging luminance distribution thus obtained, and calculates a corrected luminance distribution by excluding the base luminance distribution from the luminance distribution.
(FR)L’invention concerne un dispositif d’inspection optique (1) comprenant un système optique d’éclairage (10) pour appliquer une lumière d’éclairage sur une surface d’une galette (W), un système optique d’observation (20) pour observer la surface de la galette (W), une unité d’imagerie (30) qui détecte la luminance sur une surface pupillaire du système optique d’observation (20) et une unité de calcul de la distribution de la luminance (40) qui obtient une distribution de la luminance tout en déplaçant dans deux dimensions une portion à observer, calcule une distribution de la luminance de base correspondant à la composante variable dans une distribution régulière de la luminance à partir de la distribution de la luminance de l’imagerie ainsi obtenue et calcule une distribution corrigée de la luminance en excluant la distribution de la luminance de base de la distribution de la luminance.
(JA) 光学検査装置(1)は、ウエハ(W)の表面に照明光を照射する照明光学系(10)と、ウエハ(W)の表面を観察する観察光学系(20)と、観察光学系(20)の瞳面上の輝度を検出する撮像部(30)と、観察部位を二次元的に移動させながら輝度分布を求め、このようにして求められた撮像輝度分布からなだらかな輝度分布の変化成分に対応するベース輝度分布を算出し、輝度分布からベース輝度分布を除いた補正輝度分布を算出する輝度分布算出部(40)とを有して構成される。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)