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Pub. No.:    WO/2009/139381    International Application No.:    PCT/JP2009/058834
Publication Date: 19.11.2009 International Filing Date: 12.05.2009
G11B 5/851 (2006.01)
Applicants: SHOWA DENKO K.K. [JP/JP]; 13-9, Shibadaimon 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058518 (JP) (For All Designated States Except US).
FUKUSHIMA Masato [JP/JP]; (JP) (For US Only).
SAKAWAKI Akira [JP/JP]; (JP) (For US Only).
SHIGE Tomoo [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: FUKUSHIMA Masato; (JP).
SHIGE Tomoo; (JP)
Agent: SHIGA Masatake; (JP)
Priority Data:
2008-126245 13.05.2008 JP
(JA) 磁気記録媒体の製造方法および製造装置
Abstract: front page image
(EN)A process for producing a magnetic recording medium is provided in which the medium is produced with the same in-line apparatus to thereby diminish the contamination caused by handling and heighten productivity.  This process for magnetic-recording-medium production is characterized by comprising, in the following order: a mounting step in which a nonmagnetic substrate having superposed layers comprising a recording magnetic layer and a mask layer for patterning the recording magnetic layer is mounted on a carrier; an alteration step in which that area of the recording magnetic layer which has not been covered with the mask layer is subjected to a treatment with a reactive plasma or treatment with ion striking thereon to alter the magnetic properties of the area and thereby form a magnetic recording pattern constituted of the residual magnetic substance; a removal step in which the mask layer is removed; a protective-film formation step in which a protective film is formed on the recording magnetic layer; and a detachment step in which the nonmagnetic substrate is detached from the carrier.  The process is further characterized in that at least any one of the alteration step, removal step, and protective-film formation step is conducted in consecutive processing stages in respective chambers.
(FR)L'invention porte sur un procédé de fabrication d'un support d'enregistrement magnétique dans lequel le support est fabriqué par le même appareil en ligne afin de réduire ainsi les risques de  contamination provoqués par la manipulation et d'améliorer la productivité. Ce procédé de fabrication de support d'enregistrement magnétique est caractérisé par le fait qu'il comporte, dans l'ordre suivant : une étape de montage dans laquelle un substrat non magnétique, dont les couches superposées comportent une couche magnétique d'enregistrement et une couche de masque pour former les motifs de la couche magnétique d'enregistrement, est monté sur un support ; une étape de modification dans laquelle la zone de la couche magnétique d'enregistrement qui n'a pas été recouverte de la couche de masque est soumise à un traitement par un plasma réactif ou un traitement par bombardement ionique afin de modifier les propriétés magnétiques de la zone et de former ainsi un motif d'enregistrement magnétique constitué de la substance magnétique résiduelle ; une étape d'élimination dans  laquelle la couche de masque est éliminée ; une étape de fabrication de film protecteur dans laquelle un film protecteur est formé sur la couche magnétique d'enregistrement, et une étape de séparation dans laquelle le substrat non magnétique est séparé du support. Le procédé est en outre caractérisé par le fait qu'au moins une quelconque de l'étape de modification, de l'étape d'élimination et de l'étape de fabrication de film protecteur est menée à des stades de traitement consécutifs dans des chambres respectives.
(JA) 媒体の製造を同一のインライン式装置を用いて行い、これによりハンドリングによる汚染を低減し、生産性を高めることが可能な磁気記録媒体の製造方法を提供する。そのような磁気記録媒体の製造方法は、記録磁性層と前記記録磁性層をパターニングするためのマスク層とが少なくとも積層された非磁性基板をキャリアに装着する装着工程と、前記記録磁性層のうち、前記マスク層に覆われていない箇所に対し、反応性プラズマ処理またはイオン照射処理を行って磁気特性を改質することで、残存した磁性体からなる磁気記録パターンを形成する改質工程と、前記マスク層を除去する除去工程と、前記記録磁性層上に保護膜を形成する保護膜形成工程と、前記キャリアから前記非磁性基板を取り外す取外し工程とをこの順で有し、前記改質工程、前記除去工程または前記保護膜形成工程の何れか一つ以上の工程を複数のチャンバに分けて連続処理することを特徴とする。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)