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1. (WO2009138496) A METHOD OF PRODUCING HARD WEAR-RESISTANT COATINGS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2009/138496    International Application No.:    PCT/EP2009/055931
Publication Date: 19.11.2009 International Filing Date: 15.05.2009
IPC:
C23C 14/00 (2006.01)
Applicants: EIFELER WERKZEUGE GMBH [DE/DE]; Dudenstädter Str. 14 40595 Düsseldorf (DE) (For All Designated States Except US).
ROGOZIN, Alexander [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: ROGOZIN, Alexander; (DE)
Agent: MEYERS, Hans-Wilhelm; (DE)
Priority Data:
08156286.0 15.05.2008 EP
Title (EN) A METHOD OF PRODUCING HARD WEAR-RESISTANT COATINGS
(FR) PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE REVÊTEMENTS DURS RÉSISTANT À L’USURE
Abstract: front page image
(EN)A process of producing a hard wear-resistant coating on a substrate (5) by a combination of a physical vapor deposition and a plasma assisted chemical vapor deposition process is disclosed, comprising the steps: a reactor (7) is provided with the substrate (5), a physical vapor deposition process is used for the decomposition of one or more targets (1-4), a gas comprising nitrogen and SiH4 in an amount less or equal than 1.4 vol%,, so that said mixed gas is not inflammable and not self igniting, the gas is at least partially ionized in a cathodic arc, and the substrate (5) is coated, wherein the coating comprises from about 1 at% to 30 at% of Si regarding the metallic compounds in the coating.
(FR)Cette invention concerne un procédé de production d’un revêtement dur résistant à l’usure sur un substrat (5) par combinaison d’un procédé de dépôt physique en phase vapeur et d’un procédé de dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma. Ledit procédé comprend les étapes consistant à : disposer un substrat (5) dans une chambre de réaction (7), utiliser un procédé de dépôt physique en phase vapeur pour décomposer une ou plusieurs cibles (1 à 4), ioniser au moins partiellement un gaz dans un arc cathodique, ledit gaz comprenant une proportion d’azote et de SiH4 inférieure ou égale à 1,4 % en volume, de sorte que ledit gaz mélangé ne soit pas inflammable et auto-inflammable, et revêtir le substrat (5). Ledit revêtement comprend du Si à raison d’environ 1 % à environ 30 % du total des composés métalliques du revêtement.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)