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1. (WO2009138162) INSPECTION APPARATUS FOR LITHOGRAPHY
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2009/138162    International Application No.:    PCT/EP2009/003051
Publication Date: 19.11.2009 International Filing Date: 27.04.2009
IPC:
G03F 7/20 (2006.01), G01N 21/21 (2006.01), G01N 21/27 (2006.01)
Applicants: ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; De Run 6501 NL-5504 DR Veldhoven (NL) (For All Designated States Except US).
VAN DE KERKHOF, Marcus, Adrianus [NL/NL]; (NL) (For US Only)
Inventors: VAN DE KERKHOF, Marcus, Adrianus; (NL)
Agent: VAN DEN HOOVEN, Jan; ASML Corporate Intellectual Property P.O. Box 324 NL-5500 AH Veldhoven (NL)
Priority Data:
61/071,673 12.05.2008 US
Title (EN) INSPECTION APPARATUS FOR LITHOGRAPHY
(FR) APPAREIL DE CONTRÔLE POUR LITHOGRAPHIE
Abstract: front page image
(EN)The invention relates to detecting targets located within patterns. The invention operates in the pupil plane by filtering the fourier transform from the surrounding pattern. In particular the method includes performing a fourier transform on reflected radiation data to form fourier transform data; removing portions of the fourier transform data which correspond to the target to form reduced fourier transform data; interpolating the portions of the reduced fourier transform data which were removed, to form product fourier transform data; and subtracting the product fourier transform data from the fourier transform data.
(FR)L'invention concerne la détection de cibles situées au sein de motifs. L’invention fonctionne dans le plan de la pupille en filtrant la transformée de Fourier du motif environnant. En particulier, le procédé comporte les étapes consistant à effectuer une transformation de Fourier sur des données de rayonnement réfléchi pour former des données de transformée de Fourier; à éliminer des parties des données de transformée de Fourier qui correspondent à la cible pour former des données réduites de transformée de Fourier; à interpoler les parties des données réduites de transformée de Fourier qui ont été éliminées, pour former des données de transformée de Fourier résultant d’un produit; et à soustraire les données de transformée de Fourier résultant du produit des données de transformée de Fourier.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)