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1. (WO2009137802) TWO-AXIS MAGNETIC FIELD SENSOR WITH MULTIPLE PINNING DIRECTIONS AND METHOD TO PRODUCE THE SENSOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2009/137802    International Application No.:    PCT/US2009/043354
Publication Date: 12.11.2009 International Filing Date: 08.05.2009
IPC:
H01L 27/22 (2006.01), H01L 43/08 (2006.01), H01L 43/12 (2006.01), G01R 33/09 (2006.01), H01F 41/30 (2006.01), H01F 41/34 (2006.01), H01F 10/32 (2006.01)
Applicants: EVERSPIN TECHNOLOGIES, INC. [US/US]; 1300 N. Alma School Road MD: 400 Chandler, AZ 85224 (US) (For All Designated States Except US).
ENGEL, Bradley [US/US]; (US) (For US Only).
MATHER, Phillip [US/US]; (US) (For US Only).
SLAUGHTER, Jon [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: ENGEL, Bradley; (US).
MATHER, Phillip; (US).
SLAUGHTER, Jon; (US)
Agent: KOCH, William; (US)
Priority Data:
12/117,396 08.05.2008 US
Title (EN) TWO-AXIS MAGNETIC FIELD SENSOR WITH MULTIPLE PINNING DIRECTIONS AND METHOD TO PRODUCE THE SENSOR
(FR) CAPTEUR DE CHAMP MAGNÉTIQUE BIAXIAL AVEC DES DIRECTIONS D'ÉTIREMENT MULTIPLES ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION DU CAPTEUR
Abstract: front page image
(EN)A fabrication process and apparatus provide a high-performance magnetic field sensor (200) from two differential sensor configurations (201, 211) which require only two distinct pinning axes (206, 216) which are formed from a single reference layer (60) that is etched into high aspect ratio shapes (62, 63) with their long axes drawn with different orientations so that, upon treating the reference layers with a properly aligned saturating field (90) and then removing the saturating field, the high aspect ratio patterns provide a shape anisotropy that forces the magnetization of each patterned shape (62, 63) to relax along its respective desired axis. Upon heating and cooling, the ferromagnetic film is pinned in the different desired directions.
(FR)L'invention concerne un procédé de fabrication et un appareil fournissant un capteur de champ magnétique de hautes performances (200) à partir de deux configurations de capteur différentiel (201, 211) nécessitant seulement deux axes d'étirement distincts (206, 216) formés à partir d'une seule couche de référence (60) gravée dans des formes de rapport longueur/largeur élevé (62, 63) avec leurs axes longs étirés dans différentes orientations de telle sorte qu’au moment du traitement des couches de référence avec un champ de saturation correctement aligné (90), puis du retrait du champ de saturation, les motifs de rapport longueur/largeur élevé fournissent une anisotropie de forme forçant la magnétisation de chaque forme à motif (62, 63) à se relâcher le long de son axe respectif souhaité. En cas de chauffage et de refroidissement, le film ferromagnétique est étiré dans les différentes directions désirées.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)