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1. (WO2009137131) TEMPERATURE-ROBUST MEMS GYROSCOPE WITH 2-DOF SENSE-MODE ADDRESSING THE TRADEOFF BETWEEN BANDWIDTH AND GAIN
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2009/137131    International Application No.:    PCT/US2009/033957
Publication Date: 12.11.2009 International Filing Date: 12.02.2009
IPC:
B81B 7/02 (2006.01), G01C 19/00 (2006.01)
Applicants: THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA [US/US]; 1111 Franklin Street, 11th Floor Oakland, CA 94607 (US) (For All Designated States Except US).
TRUSOV, Alexander [US/US]; (US) (For US Only).
SCHOFIELD, Adam [US/US]; (US) (For US Only).
SHKEL, Andrei [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: TRUSOV, Alexander; (US).
SCHOFIELD, Adam; (US).
SHKEL, Andrei; (US)
Agent: DAWES, Marcus; (US)
Priority Data:
61/030,522 21.02.2008 US
Title (EN) TEMPERATURE-ROBUST MEMS GYROSCOPE WITH 2-DOF SENSE-MODE ADDRESSING THE TRADEOFF BETWEEN BANDWIDTH AND GAIN
(FR) GYROSCOPE À SYSTÈME MICROÉLECTROMÉCANIQUE RÉSISTANT À LA TEMPÉRATURE AVEC MODE DÉTECTION À 2 DEGRÉS DE LIBERTÉ TRAITANT LE COMPROMIS ENTRE LARGEUR DE BANDE ET GAIN
Abstract: front page image
(EN)The current invention is a novel gyroscope design, which yields devices robust to fabrication and environmental variations, allows flexible selection of operational parameters, and provides increased bandwidth with minimized sacrifice in gain regardless of the selected frequency of operation. The gyroscope has a single degree-of-freedom (DOF) drive-mode and a 2-DOF sense-mode. The drive-mode operational frequency and the sense-mode bandwidth can be selected arbitrarily in the proposed design, relaxing the tradeoff between the gain, die size, and detection capacitance. The symmetry of the structure ensures the optimal location of the drive-mode resonance relative to the sense-mode operational region, even in presence of fabrication imperfections.
(FR)La présente invention est un nouvel agencement de gyroscope, qui conduit à des dispositifs résistants en termes de variations de fabrication et d'environnement, permet une sélection souple de paramètres de fonctionnement et fournit une largeur de bande accrue avec un sacrifice minimisé du gain, indépendamment de la fréquence de fonctionnement choisie. Le gyroscope a un mode entraînement à un degré de liberté (DOF) et un mode détection à deux DOF. La fréquence de fonctionnement en mode entraînement et la largeur de bande en mode détection peuvent être sélectionnées de façon arbitraire dans l'agencement proposé, relâchant le compromis entre le gain, la taille de puce et la capacité de détection. La symétrie de la structure garantit l'emplacement optimal de la résonance en mode entraînement par rapport à la région de fonctionnement en mode détection, même en présence d'imperfections de fabrication.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)