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1. (WO2009136901) FAST SAMPLE HEIGHT, AOI AND POI ALIGNMENT IN MAPPING ELLIPSOMETER OR THE LIKE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2009/136901    International Application No.:    PCT/US2008/012931
Publication Date: 12.11.2009 International Filing Date: 20.11.2008
IPC:
G05B 19/04 (2006.01)
Applicants: J.A. WOOLLAM CO., INC. [US/US]; 645 M Street Lincoln, NE 68508 (US) (For All Designated States Except US)
Inventors: HE, Ping; (US).
HALE, Jeffrey, S.; (US).
PFEIFFER, Galen, L.; (US).
LIPHARDT, Martin, M.; (US)
Agent: WELCH, James, D.; 10328 Pinehurst Ave. Omaha, NE 68124 (US)
Priority Data:
61/127,062 09.05.2008 US
Title (EN) FAST SAMPLE HEIGHT, AOI AND POI ALIGNMENT IN MAPPING ELLIPSOMETER OR THE LIKE
(FR) ALIGNEMENT RAPIDE DE LA HAUTEUR D'ÉCHANTILLON, DE L'AOI ET DU POI DANS UN ELLIPSOMÈTRE DE MAPPAGE OU DANS DES SYSTÈMES SIMILAIRES
Abstract: front page image
(EN)A sample investigation system (ES) in functional combination with an alignment systen (AS), and methodology of enabling very fast, (eg. seconds), sample height, angle-of-incidence and plane-of -incidence adjustments, with application in mapping ellipsometer or the like systems.
(FR)La présente invention concerne un système d'étude d'échantillon (ES) en combinaison fonctionnelle avec un système d'alignement (AS), ainsi qu'une méthodologie permettant des ajustements très rapides (par exemple en quelques secondes) de la hauteur d'échantillon, de l'angle d'incidence (AOI) et du plan d'incidence (POI), s'utilisant dans un ellipsomètre de mappage ou dans des systèmes similaires.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)