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1. (WO2009134345) GAS BEARING ELETROSTATIC CHUCK
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2009/134345    International Application No.:    PCT/US2009/002569
Publication Date: 05.11.2009 International Filing Date: 23.04.2009
IPC:
H01L 21/683 (2006.01)
Applicants: AXCELIS TECHNOLOGIES, INC [US/US]; 108 Cherry Hill Drive Beverly, MA 01915 (US) (For All Designated States Except US).
LEE, W [US/US]; (US) (For US Only).
LAFONTAINE, Marvin [US/US]; (US) (For US Only).
PUROHIT, Ashwin [US/US]; (US) (For US Only).
GILLESPIE, Joseph [US/US]; (US) (For US Only).
BECKEL, Donovan [US/US]; (US) (For US Only).
TAO, Teng, Chao [US/US]; (US) (For US Only).
SLOCUM, Alexander [US/US]; (US) (For US Only).
NAYFEH, Samir [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: LEE, W; (US).
LAFONTAINE, Marvin; (US).
PUROHIT, Ashwin; (US).
GILLESPIE, Joseph; (US).
BECKEL, Donovan; (US).
TAO, Teng, Chao; (US).
SLOCUM, Alexander; (US).
NAYFEH, Samir; (US)
Priority Data:
12/113,091 30.04.2008 US
Title (EN) GAS BEARING ELETROSTATIC CHUCK
(FR) MANDRIN ÉLECTROSTATIQUE À PALIER GAZEUX
Abstract: front page image
(EN)An electrostatic clamp is provided having a clamping plate, wherein the clamping plate has a central region and an annulus region. A plurality of gas supply orifices are defined in the central region of the clamping plate, wherein the plurality of gas supply orifices are in fluid communication with a pressurized gas supply, and wherein the pressurized gas supply is configured to provide a cushion of gas between the clamping surface and the workpiece in the central region of the clamping plate via the plurality of gas supply orifices. One or more gas return orifices defined in one or more of the central region and annulus region of the clamping plate, wherein the one or more gas return orifices are in fluid communication with a vacuum source, therein generally defining an exhaust path for the cushion of gas. A seal is disposed in the annulus region of the clamping plate, wherein the seal is configured to generally prevent a leakage of the cushion of gas from the central region to an environment external to the annulus region. One or more electrodes are further electrically connected to a first voltage potential to provide a first clamping force.
(FR)L’invention concerne une pièce de serrage électrostatique dotée d’une plaque de serrage, la plaque de serrage ayant une zone centrale et une zone annulaire. Une pluralité d’orifices d’alimentation en gaz est définie dans la zone centrale de la plaque de serrage, ladite pluralité d’orifices d’alimentation en gaz étant en communication fluidique avec une alimentation en gaz pressurisé, et l’alimentation en gaz pressurisé étant configurée pour fournir un coussin de gaz entre la surface de serrage et la pièce à travailler dans la zone centrale de la plaque de serrage, via la pluralité d’orifices d’alimentation en gaz. Un ou plusieurs orifices de retour de gaz sont définis dans la zone centrale et/ou la zone annulaire de la plaque de serrage, le ou les orifices de retour de gaz étant en communication fluidique avec une source de vide, définissant généralement à l’intérieur un chemin d’échappement pour le coussin de gaz. Un joint est disposé dans la zone annulaire de la plaque de serrage, le joint étant configuré pour empêcher généralement une fuite du coussin de gaz de la zone centrale à un environnement extérieur à la zone annulaire. Une ou plusieurs électrodes sont en outre électriquement raccordées à un premier potentiel de tension pour fournir une première force de serrage.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)