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1. (WO2009128473) MEMS ACTUATOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2009/128473    International Application No.:    PCT/JP2009/057578
Publication Date: 22.10.2009 International Filing Date: 15.04.2009
IPC:
G02B 26/10 (2006.01), B81B 3/00 (2006.01), H02K 33/18 (2006.01)
Applicants: SUMITOMO PRECISION PRODUCTS CO., LTD. [JP/JP]; 1-10, Fuso-cho, Amagasaki-shi, Hyogo, 6600891 (JP) (For All Designated States Except US).
YAMAGUCHI, Yukitaka [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: YAMAGUCHI, Yukitaka; (JP)
Agent: OHNAKA, Minoru; Daiichijuken Nagahoribashi-ekimae bldg. 4F, 3-6, Minamisemba 2-chome, Chuo-ku, Osaka-shi, Osaka 5420081 (JP)
Priority Data:
2008-105333 15.04.2008 JP
Title (EN) MEMS ACTUATOR
(FR) ACTIONNEUR MEMS
(JA) MEMSアクチュエータ
Abstract: front page image
(EN)Provided is an MEMS actuator having a small dimension at least in one direction. The MEMS actuator (1) includes a first movable unit (21) which oscillates around a first axis X and a second movable unit (31) which oscillates around a second axis Y. The MEMS actuator (1) further includes first fixed units (22, 23) which support the first movable unit (21) and second fixed units (32, 33) which support the second movable unit (31). The first fixed units (22, 23) are layered on the second movable unit (31). The second fixed units (32, 33) are arranged inside the second movable unit (31) or arranged in linkage with a narrowed portion (312A) of the second movable unit (31). This can reduce the dimension of the MEMS actuator (1) viewed from the normal line direction of the first movable unit (21).
(FR)La présente invention concerne un actionneur MEMS dont la dimension est petite au moins dans une direction. L'actionneur MEMS (1) comprend une première unité mobile (21) qui oscille autour d'un premier axe X et une seconde unité mobile (31) qui oscille autour d'un second axe Y. L'actionneur MEMS (1) comprend en outre les premières unités fixes (22, 23) qui supportent la première unité mobile (21) et les secondes unités fixes (32, 33) qui supportent la seconde unité mobile (31). Les premières unités fixes (22, 23) sont disposées en couches sur la seconde unité mobile (31). Les secondes unités fixes (32, 33) sont disposées à l'intérieur de la seconde unité mobile (31) ou sont disposées de façon liée à une partie étroite (312A) de la seconde unité mobile (31). Ceci peut réduire la dimension de l'actionneur MEMS (1) vu depuis la direction de ligne normale de la première unité mobile (21).
(JA)少なくとも一方向の寸法が小さいMEMSアクチュエータを提供すること。第1軸線X周りに揺動する第1可動部21を支持する第1固定部22、23が積層された第2軸線Y周りに揺動する第2可動部31を支持する第2固定部32、33を、第2可動部31の内側に配置、又は、第2可動部31の幅狭部位312Aと連結して配置することで、第1可動部21の法線方向から見たときのMEMSアクチュエータ1の寸法を小さくすることを可能としている。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)